في أرضية الرقاقة، يلعب منحنى درجة الحرارة المنخفضة دورًا مهمًا في تحديد الأبعاد الدقيقة للمواد الفوتوليثوغرافية وشكل الجدران الجانبية للرقاقة. أي انحراف بمقدار نصف درجة يؤدي إلى تغيير في عرض الخطوط، وهو ما قد يؤثر سلبًا على عملية النقش. لذلك، صممنا لوحات التسخين بالأشعة تحت الحمراء من السيراميك للتخلص من هذه المشكلة.
يتكون الجزء الأساسي من اللوحة من عنصر سيراميكي ذو كفاءة عالية في إصدار الحرارة، بالإضافة إلى أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، مما يسمح بتسخين سريع ومباشر مع استخدام كمية حرارية Minima. يظل مستوى التوحيد على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما يظل مستوى الدقة ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية، حتى عند التشغيل على مدار 24 ساعة يوميًا.
كما أن هذه اللوحات تعمل بشكل جيد في غرف نظيفة من الفئة 1–100. فالسطح السيراميكي المغلق والمواد ذات الانبعاثات المنخفضة تساعد في الحفاظ على عدد الجسيمات في مستوى منخفض، دون أي تكون للجسيمات أثناء عمليات التسخين. كما أن سرعة الاستجابة سريعة جدًا، مما يسمح بالتحكم في درجة الحرارة بدقة، دون أي تجاوز للحدود المطلوبة.
سواء كان الأمر يتعلق بأجهزة النقش أو أجهزة التسخين المستقلة، فإن هذا النوع من التحكم في درجة الحرارة يساعد في الحفاظ على استقرار الأبعاد الدقيقة للمواد الفوتوليثوغرافية، وتقليل عيوبها، بالإضافة إلى تحسين دقة عملية النقش. كما أنه يسمح بتسريع دورات التسخين دون التأثير على جودة النتائج، بالإضافة إلى تقليل استهلاك الطاقة بفضل استخدام أشعة تحت حمراء فعالة، وتقليل فترات الصيانة. كما أن المنحنى الحراري يظل ثابتًا من دورة تشغيل إلى أخرى، مما يسمح بتحقيق النتائج المطلوبة في الوقت المناسب.
لكن يجب أخذ القيود العملية في الاعتبار. يحتاج اللوح إلى مكونات متطابقة ذات كمية حرارية منخفضة، بالإضافة إلى توصيل كهربائي نظيف للحفاظ على استقرار الدورة الحرارية. كما أن معايير التركيب صارمة، حيث يجب أن يكون الفارق ضمن نطاق 0.1 مم، كما يجب اختيار مواد مناسبة للتحكم في الانبعاثات الحرارية.
إذا تم تحقيق التوافق الصحيح، فإن اللوحة ستعمل بشكل جيد في الأجهزة الموجودة، مما يوفر التحكم في درجة الحرارة الذي تحتاجه عمليات النقش والنقش بالأشعة تحت الحمراء.