في قسم التصنيع، فإن عملية تصلب مادة البوليميد ليست خطوة يتم إنجازها بشكل منفصل، بل هي جزء من عملية التحكم في درجة الحرارة. إذا حدث أي خطأ في درجة الحرارة، حتى ولو كان ذلك ببضع درجات، فإن ذلك سيؤدي إلى عدم اكتمال عملية تسطيح السطح، أو ضعف الارتباط بين الطبقات، أو حدوث تشوهات في شكل الرقاقة. في الأجيال الحديثة من الرقائق، لا يوجد مجال لمثل هذه الأخطاء.
ما الذي يهم فعلاً؟ يحتاج تصلب مادة البوليميد إلى حرارة مستقرة ومتكررة باستمرار. نحافظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، بحيث تتعرض الرقاقة بأكملها لنفس درجة الحرارة من الحافة إلى الحافة. يتم استخدام الحرارة من الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، وهو ما يساعد في تقليل وقت التسخين، وفي الوقت نفسه يمنع تكون نقاط ساخنة على سطح الرقاقة.
تم تصميم النظام بحيث يتوافق مع معايير الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100: استخدام مواد قليلة الانبعاثات، وغرف مغلقة، بالإضافة إلى أنظمة تصفية داخلية تساعد في الحفاظ على عدد الجسيمات في مستوى ثابت خلال فترات التصنيع الطويلة. عدم تكون أي جسيمات ليس مجرد شعار، بل هو شرط يجب الالتزام به، ويتم ذلك من خلال الرصد المستمر.
لماذا يعتبر هذا النظام فعالاً؟ يتمكن نفس النظام من التعامل مع عمليات تجفيف الرقاقات، وتسخين المواد المستخدمة في الطباعة الضوئية، بالإضافة إلى عمليات التغليف والتجفيف بعد العمليات التنظيفية، دون الحاجة إلى إعادة ضبط معايير درجة الحرارة. التحكم الدقيق في درجة حرارة التسخين يساعد في تحسين جودة الرقاقات وتوحيد خصائصها.
القدرة على تكرار العمليات يساعد في تقليل الهدر وإعادة العمل، كما يساعد في تقليل وقت التصنيع. كما أن استخدام الأشعة تحت الحمراء يقلل من استهلاك الطاقة، لأنها تسخن الرقاقة مباشرة، وليس جدران الغرفة. النظام مصمم للعمل على مدار 24 ساعة، مع إمكانية التخطيط لأعمال الصيانة مسبقاً، بدلاً من التعامل مع أوقات التوقف غير المتوقعة.
ما الذي يجب أن تأخذه في الاعتبار؟ يعتمد نظام الحرارة من الأشعة تحت الحمراء على خط الرؤية، لذا فإن ارتفاع الرقاقات ومعامل الإشعاع مهمان جداً. نقوم بإجراء اختبارات قصيرة لضمان تحديد المعايير المناسبة لسمك مادة البوليميد والطبقات الموجودة تحتها.
حجم النظام صغير، ويمكن دمجه بسهولة، لكن يجب تأمين كافة الموارد اللازمة مسبقاً، مثل الطاقة وأنظمة التصريف وواجهات الغرف النظيفة، حتى لا يتم تعطيل العملية أثناء التركيب.