লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, বেকিং তাপমাত্রায় ১°C-র মতো পরিবর্তনও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোকে ন্যানোমিটার হিসেবে পরিবর্তন করতে পারে। এটা যথেষ্ট হয়ে যায় পুরো পণ্যটিকে নষ্ট করার জন্য। “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়াটি ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল নির্ধারণ করে; আর “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াটি সেই প্রোফাইলটিকে স্থিতিশীল রাখে। কিন্তু ওয়েফারের সর্বত্র সমান তাপমাত্রা না থাকলে এগুলোর কোনো উপকারিতা নেই।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ফটোরেজিস্ট বেকিংয়ের জন্য কোয়ার্টজ আবরণযুক্ত শর্ট-ওয়েভ NIR এমিটারযুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি। এর ফলে দ্রুত ও স্থানীয়ভাবে তাপ প্রদান করা যায়; আর সাবস্ট্রেটের উপর কম চাপ পড়ে। বেকিং জোনে ওয়েফারের সর্বত্র তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; আর আমরা থার্মোকাপল ব্যবহার করে এটা পরিমাপ করি। ক্লিনরুমের অবস্থাও ডিজাইনের অংশ—কম গ্যাস নির্গমনকারী উপকরণ, ক্লাস 1–100 মানসম্পন্ন প্যাকেজিং, এবং স্থিতিশীল অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়া। সিস্টেমটি নির্দিষ্ট মানগুলো অনুসরণ করে; ফলে প্রতিটি “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াই নির্ধারিত তাপমাত্রার মধ্যে থাকে। শক্তি ব্যবহার নিয়ন্ত্রণ করা হয় পালস কন্ট্রোল ও রিফ্লেক্টরের মাধ্যমে; ফলে থার্মাল মাস কম থাকে আর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে।
কেন এটা হাই-ভলিউম ফ্যাবে ব্যবহৃত হয়?
উৎপাদনের ক্ষেত্রে, ধারাবাহিক ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন, কম পুনর্কাজ, এবং পরিকল্পনামূলক উৎপাদন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এখানে দ্রুত তাপ প্রদান করা যায়; সাইকেল টাইম কম থাকে; আর ফটোরেজিস্টের প্রোফাইলগুলো প্রতিবারই একই থাকে। এই ল্যাম্পগুলো ২৪/৭ ঘণ্টা কাজ করতে পারে; আর আউটপুটে খুব কম হ্রাস হয়। আমরা দেখেছি যে এগুলো ৫,০০০+ ঘণ্টা কাজ করতে পারে, আর ইন্টেন্সিটিতে ৫% এরও কম হ্রাস হয়। রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজন কম হয়; আর অপ্রত্যাশিত বন্ধ থাকার সময়ও কম হয়। সংক্ষেপে, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে ফটোরেজিস্ট নির্ধারিত মানের মধ্যে থাকে; ফলে পুনরাবৃত্তি নিশ্চিত হয়।
কী কী বিষয় মনে রাখা দরকার?
ইনস্টলেশনের সময় অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট ঠিক রাখা দরকার; আর স্পেকট্রামকে স্থিতিশীল রাখার জন্য ডেডিকেটেড পাওয়ার কন্ডিশনিং ব্যবহার করা দরকার। ইনফ্রারেড শোষণের জন্য চাকের উপাদান ও কোটিং যাচাই করা দরকার; যদি এগুলো মেলে না, তাহলে ওয়েফারে গ্রেডিয়েন্ট দেখা যাবে। এই ল্যাম্পগুলো কুল্যান্টের ঘনত্ব নিয়ে খুব সংবেদনশীল—কন্ডাক্টিভিটি কম রাখতে হবে; নইলে আবরণে হট স্পট দেখা দেবে। আর ±0.1°C সমানতা বজায় রাখার জন্য ক্যালিব্রেশন প্রক্রিয়া অবশ্যই করতে হবে।