ফ্যাব ফ্লোরে, একটি ওয়েফার ড্রাইং ওভেনের মিসড টাইমার শুধুমাত্র একটি লাইন স্টপ নয়। এটি ফটোরেজিস্ট সফট বেককে ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে, শুকানোর সময় একটি ত্বক গঠন করতে দিতে পারে, এবং ফলনের ডেটায় অবশিষ্ট সলভেন্ট বা প্যাটার্ন ত্রুটি হিসাবে প্রদর্শিত হতে পারে। আমরা আমাদের টাইমার-সক্ষম ওয়েফার ড্রাইং ওভেনটি তৈরি করেছি যাতে সেই তাপীয় পদক্ষেপগুলি লকডাউন এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য থাকে। লিথোগ্রাফি এবং ওয়েফার প্রস্তুতিতে সময় এবং তাপমাত্রা উভয়ই অ-আলোচনাযোগ্য।
এর অন্তর্নিহিত অংশ হল একটি তাপীয় স্ট্যাক যা কাজের সাথে মেলে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটারগুলি দ্রুত, সরাসরি যুক্ত তাপ প্রদান করে, ব্যাচে ±0.1°C তাপমাত্রার সমতা নিশ্চিত করে। একীভূত কোয়ার্টজ চেম্বার এবং HEPA-গ্রেড পুনরায় সঞ্চালন ফিল্টারিং কণার উৎপাদন শূন্যে রাখে, তাই আপনি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এ সহজেই চলতে পারেন। টাইমারটি একটি সুবিধা নয়। এটি একটি প্রক্রিয়া ইন্টারলক যা সফট বেক এবং পোস্ট-ক্লিন ড্রাইংয়ের জন্য সঠিক অবস্থান বাধ্য করে, তাপীয় বাজেট সংরক্ষণ করে এবং সাইকেল থেকে সাইকেলে বিচ্যুতি নির্মূল করে।
এটি বাস্তবে আপনাকে কী দেয়: ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইল যা সেকেন্ডের মধ্যে লক্ষ্য অর্জন করে, যার পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা CD নিয়ন্ত্রণকে স্থির রাখে এবং পুনঃকাজের লট কমায়। শুকানোর চক্রগুলি কম আর্দ্রতা ধরে রাখে, তাই আপনি দ্রুত ওয়েফার স্থানান্তর করতে পারেন পৃষ্ঠকে ক্ষতিগ্রস্ত না করে। শক্তির ব্যবহার কমে যায় কারণ ওভেনটি দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায় এবং অতিরিক্ত তাপ ছাড়াই তা ধরে রাখে, এবং আপটাইম শক্তিশালী থাকে একটি ডিজাইন দিয়ে যা 24/7 কার্যক্রম পরিচালনা করে এবং লটের মধ্যে দ্রুত ঠান্ডা হয়।
স্থাপনাটি সরল, তবে আপনার ইউটিলিটিগুলি পরিকল্পনা করুন। ওভেনটিকে একটি নিবেদিত পাওয়ার সার্কিট এবং পার্জ এবং নিষ্কাশন পথের জন্য পরিষ্কার, শুকনো সঙ্কুচিত বায়ুর প্রয়োজন। টাইমারটি আপনার হোস্ট কন্ট্রোলারের সাথে মেলানো সহজ। তবুও, মূল্যায়নের সময়, আপনার রেজিস্ট ভেন্ডরের বেক কার্ভের বিপরীতে রেসিপি সময়ের বৈধতা যাচাই করুন। কিছু ফরমুলেশন সোয়াকের তুলনায় র্যাম্প এজের প্রতি বেশি সংবেদনশীল।