Na lince o délce 300 mm nezpůsobí odchylka teploty o 2 °C během procesu zahřívání fotorezistu žádné problémy. Projeví se to pouze jako odchylky šířky pruhu na povrchu desky, ztráty produktů a nízká míra výroby v 7 hodin ráno – což nikdo nechce. Termální stabilita není jen výhodná vlastnost; je to základní požadavek tohoto procesu.
Co je opravdu důležité
Tyto zařízení jsme navrhli tak, aby splňovaly požadavky na termální kontrolu v procesu litografie – a to jak při měkkém, tak i tvrdém zahřívání. Jednotnost teploty na celé ploše desky je udržována na úrovni ±0,1 °C. Kvartzo-halogenové prvky zajišťují předvídatelný profil vyzařovaného tepla. Možnosti s pracovním spektrem v oblasti infračerveného záření umožňují rychlejší zaschnutí materiálů bez nadměrných odchylek.
Zařízení jsou vhodná pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Je potvrzeno, že nevytvářejí žádné částice, a materiály nevyuvolávají uvolňování plynů. Lze očekávat provoz 24/7 bez jakýchkoli plánovaných přestávek. Doba životnosti zařízení přesahuje 5 000 hodin a odchylka výstupních hodnot je menší než 5 %.
Proč se tento produkt hodí do výrobních prostor
V této oblasti je opakovatelnost jediným přijatelným stavem. Naše systémy udržují teplotu v přesných mezích, takže kontrola kritických rozměrů zůstává stabilní a profily fotorezistu zůstávají stejné od 100. série až po 10 000. série.
Díky tomu máte stabilní výkon bez nutnosti oprav způsobených teplem, nižší spotřebu energie díky efektivnímu termálnímu spojení a méně výměn spotřebních materiálů díky dlouhé době životnosti. Výsledkem je méně odchylek, přesnější rozdělení hodnot a OEE, na které se můžete spolehnout.
Na co si musíte dát pozor
Tato zařízení jsou navržena tak, aby se mohla přímo použít v standardních procesech zahřívání. Avšak termální spojení se mění v závislosti na geometrii komory a průtoku plynu. Během kalibrace je potřeba provést krátký testovací cyklus, abychom nastavili parametry PID a potvrdili rovnoměrnost teploty v konkrétním zařízení.
Udělejte to hned na začátku. Výsledkem bude profil zahřívání, který zůstane v požadovaných mezích v každém cyklu.