V provozu výroby není zatvrzování polyimidu jednoduchým krokem, který lze jen ošetřit. Jde o termální proces, který je potřeba správně řídit. Pokud minete požadované teplotní podmínky i o několik stupňů, dojde k neúplné planarizaci, slabé adhezi nebo k napětím, která pokazí tvar čipu. V dnešních procesech prostě není prostor na takové chyby.
Co je důležité Zatvrzování polyimidu vyžaduje stabilní a opakující se teplotu. Udržujeme rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, aby celá vrstva polyimidu zažila stejné teplotní podmínky od okraje k okraji. Nahřívání pomocí krátkovlnného infračerveného záření odpovídá absorpci polyimidu, což zkracuje dobu zahřívání a zabraňuje vzniku „horkých míst“.
Kompatibilita s prostředím třídy 1–100 je součástí konstrukce: materiály s nízkou úrovní emisí, uzavřené komory a interní filtrace zajišťují stálý počet částic během dlouhodobého provozu. Nulová produkce částic není jen slogán – je to podmínka, kterou musíme dodržovat, a to díky průběžnému monitorování.
Proč tato platforma funguje Stejný systém zvládá sušení čipů, změkčování a zatvrzování fotorezistorů, balení čipů a jejich sušení po čištění – aniž byste museli znovu kalibrovat termální profil. Přesná kontrola teploty při zatvrzování fotorezistorů přináší lepší kontrolu rozměrů čipů a konzistentnější vlastnosti jejich stran.
Opakovatelnost mezi jednotlivými cykly snižuje množství odpadu a nutné opravy, zkracuje dobu cyklů a zlepšuje celkovou efektivitu výroby. Spotřeba energie klesá, protože NIR záření ohřívá přímo vrstvu polyimidu, nikoliv stěny komory. Spolehlivost systému umožňuje jeho provoz 24/7, s možností plánování údržby místo neplánovaných přerušení v provozu.
Na co si musíte dát pozor Nahřívání pomocí NIR záření funguje pouze v lineárním směru, proto je důležitá výška vrstvy a její emisivita. Provádíme krátké kalibrace, abychom určili optimální parametry pro konkrétní tloušťku polyimidu a vrstvy pod ním.
Rozměry systému jsou kompaktní a integrace jednoduchá, ale je potřeba předem zajistit veškeré potřebné služby – elektřinu, odvětrávání a spojení s prostředím čistírny – aby nedošlo k přerušení výroby během instalace.