Kohlenstoffeinsparung in der Reinraumtechnik: Eine intelligente Methode zum Trocknen von Wafern
Seien wir ehrlich – die Spülphase in den Halbleiterfabriken ist in der Regel der Punkt, an dem Energie verschwendet wird. Es handelt sich dabei um einen enormen Energieverbraucher. Lange Zeit wurde alles einfach mit großen Konvektionsöfen erhitzt, um den ganzen Raum zu erwärmen – nur damit ein paar Wafern getrocknet werden konnten. Das ist verschwenderisch.
Deshalb haben wir auf wasserdichte Infrarotlampen umgestellt. Anstatt die Luft um die Wafer zu erhitzen, richten wir die Wärme direkt auf die Stellen, an denen sich Wasser befindet. Das ist ein effizienterer Prozess, der wirklich dazu beiträgt, den Kohlenstoffausstoß zu reduzieren.
Umgang mit Unordnung
Die Spülumgebungen sind äußerst problematisch: Überall gibt es Feuchtigkeit. Wenn auch nur eine einzige Tropfe auf die Elektroden der Lampe trifft, funktioniert die Lampe sofort nicht mehr. Um das zu verhindern, verwenden wir Quarzkapseln sowie dichte Abdichtungen. Dadurch bleibt der Innenraum der Lampe trocken, während die Außenhülle für die Ordnung sorgt. Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung – diese durchdringt die Wasserschicht auf der Waferoberfläche. Das Wasser trocknet nicht nur ab, sondern verschwindet innerhalb von Sekunden.
Ein grünerer Produktionsprozess
Wenn man eine Fabrik haben möchte, die den Planeten nicht zerstört, muss man aufhören, für Energie zu bezahlen, die man eigentlich nicht benötigt. Die alten Öfen bleiben den ganzen Tag über heiß – selbst wenn nichts darin ist. Unsere Infrarotsysteme sind anders: Sie werden nur dann aktiviert, wenn die Wafer in die jeweilige Zone kommen. Sobald die Wafer wieder weg sind, schalten sich die Lampen aus. Keine unnötige Hitze – kein Geldverschwendung.
Achtung! Diese Geräte sind sehr leistungsstark. Da sie für eine hohe Leistung konzipiert sind, um Platz zu sparen, werden sie ziemlich heiß. Wenn das Gehäuse nicht dafür ausgelegt ist, diese Hitze abzuführen, kann das zum Verformen des Gehäuses oder zu Störungen in der Temperaturkontrolle führen. Man muss also darauf achten, dass die Luftzirkulation richtig funktioniert.
In der Praxis
Das Beste daran: Man muss seine gesamte Anlage nicht ersetzen. Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die einfach in die bestehenden Trocknungsanlagen eingebaut werden können. Man muss sie nur mit der Steuerungslogik verbinden, sodass sie mit der Geschwindigkeit des Transportbands synchronisiert sind. Da die Geräte wasserdicht sind, kann man die Hochdrucksysteme bedenkenlos nutzen, ohne sich Sorgen um Spritzer machen zu müssen.
Tipp: Überprüfen Sie die Abdichtungen alle sechs Monate. Das dauert fünf Minuten – doch wenn eine Abdichtung versagt, funktioniert die Lampe nicht mehr. Das führt zu Ausfällen, Verschwendung von Materialien und macht aus einem guten Tag einen Albtraum.