در کف کارخانه، یک نوسان حرارتی در محفظه RTP میتواند بودجه حرارتی شما را در چشم به هم زدنی از بین ببرد. پروفیلهای فوتورزیست شروع به تغییر میکنند. کنترل عرض خطوط به هم میریزد. بازده تحت تأثیر قرار میگیرد. ما جایگزین لامپ هالوژن RTP خود را طراحی کردیم تا آن عدم قطعیت را از معادله حذف کرده و حرارت قابل تکرار را چرخه به چرخه تأمین کند.
در اینجا آنچه در زیر کاپوت است آمده است. لامپ از امیترهای هالوژن کوتاهموج داخل یک پوشش کوارتز استفاده میکند که برای پاسخ تابشی سریع تنظیم شدهاند. خروجی را در سراسر آرایه ناحیهای نقشهبرداری میکنیم تا با هندسه محفظه مطابقت داشته باشد، با هدف یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C. در کلاس ۱–۱۰۰ اتاق تمیز، طراحی کمگازدهی از افزایش تعداد ذرات در طول پخت و آنیل جلوگیری میکند. عایقبندی فیبر کربن حرارت را حفظ کرده، مصرف برق در حالت آماده به کار را کاهش میدهد و زمانهای افزایش دما را کوتاه میکند. خروجی بیش از ۵۰۰۰ ساعت پایدار میماند، با انحراف شدت کمتر از ۵٪، بنابراین شاخص Cpk فرآیند آسیب نمیبیند.
پخت نرم و پخت سخت بر کنترل دقیق حرارتی بستگی دارند — همپوشانی لیتوگرافی به آن وابسته است. این جایگزین دمای فوتورزیست را در محدوده مشخصات، هر بار و در کل دسته حفظ میکند. مشاهده خواهید کرد که مصرف انرژی کاهش مییابد چون سرعت گرم شدن و سرد شدن افزایش مییابد، بدون اینکه دقت دما فدا شود. این سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است، که به معنای کاهش تعداد مشکلات ناگهانی و هزینه پایینتر به ازای هر ویفر پردازش شده است.
قبل از تعویض، پایه فیزیکی، جهتگیری ترمینال و ولتاژ را با سوکت لامپ موجود خود تطبیق دهید. پس از تغییر، کالیبراسیون محفظه را بررسی کنید؛ یکنواختی دقیقتر ممکن است نقطه تنظیم را کمی تغییر دهد. انتظار داشته باشید گرمشدن به تعادل حرارتی در اولین تعویض کمی طولانیتر باشد. یک آزمایش کوتاه اعتبارسنجی برای قفل مجدد پنجره فرآیند برنامهریزی کنید.