در کف کارخانه، یک تایمر از دست رفته در کوره خشککن ویفر تنها یک توقف خط نیست. این میتواند باعث کمبود نرمپختی فوتورزیست شود، اجازه دهد که در حین خشک شدن یک لایه تشکیل شود و به عنوان حلال باقیمانده یا نقصهای الگو در دادههای بازده ظاهر شود. ما کوره خشککن ویفر با قابلیت تایمر خود را ساختهایم تا آن مراحل حرارتی را ثابت و تکرارپذیر نگه دارد. زمانبندی و دما در لیتوگرافی و آمادهسازی ویفر غیرقابل مذاکره هستند.
بخش اصلی آن یک لایه حرارتی متناسب با کار است. تابشدهندههای مادون قرمز با طول موج کوتاه حرارت سریع و مستقیم را ارائه میدهند، با یکنواختی سطح ویفر به ±0.1°C در سرتاسر دسته. محفظههای کوارتز یکپارچه و فیلتر بازیافت با درجه HEPA تولید ذرات را به صفر میرسانند، بنابراین میتوانید بدون نگرانی در کلاس پاکسازی 1-100 کار کنید. تایمر یک راحتی نیست. این یک قفل فرآیندی است که زمان دقیق مورد نیاز برای نرمپختی و خشک کردن پس از تمیز کردن را تحمیل میکند، بودجه حرارتی را حفظ کرده و نوسانات چرخه به چرخه را از بین میبرد.
این در عمل چه فایدهای برای شما دارد: پروفایلهای پخت فوتورزیست که در چند ثانیه به هدف میرسند، با تکرارپذیری که کنترل CD را پایدار نگه میدارد و تعداد کارهای مجدد را کاهش میدهد. چرخههای خشک شدن با نگهداری رطوبت کمتر به پایان میرسند، بنابراین میتوانید ویفرها را سریعتر جابهجا کنید بدون اینکه سطح را آسیب بزنید. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا کوره به سرعت به نقطه تنظیم میرسد و آن را بدون افزایش بیش از حد نگه میدارد و زمان کارکرد با طراحیای که عملیات 24/7 را مدیریت میکند و بین دستهها به سرعت خنک میشود، پایدار میماند.
نصب آن ساده است، اما utilities خود را برنامهریزی کنید. کوره به یک مدار برق اختصاصی و هوای فشرده تمیز و خشک برای مسیر تخلیه و خروجی نیاز دارد. هماهنگسازی تایمر با کنترلکننده میزبان شما ساده است. با این حال، در طول تأیید صلاحیت، زمانبندی دستورالعمل را در برابر منحنی پخت تأمینکننده فوتورزیست خود اعتبارسنجی کنید. برخی از فرمولها نسبت به لبه افزایش حساستر از تنها غوطهوری هستند.