Sur une ligne de 300 mm, une dérive de 2 °C pendant le séchage du photo-résistant ne constitue pas un problème majeur. Elle se manifeste plutôt par des écarts dans la largeur des lignes tracées, des lots rejetés, ainsi qu’un taux de réussite de 7 heures du matin, ce qui n’est certainement pas ce que l’on souhaite. La stabilité thermique n’est pas simplement un avantage supplémentaire : c’est une exigence fondamentale du processus.
Ce qui est vraiment important Nous avons conçu ces équipements pour répondre aux exigences liées à la thermique dans le cadre de la lithographie : séchage doux ou séchage intensif, avec une uniformité du champ thermique de ±0,1 °C sur toute la durée du processus. Les éléments à base de Quartz-Halogène permettent d’obtenir un profil thermique prévisible. Les options en lumière infrarouge permettent une durcissement plus rapide sans dépasser les limites désirées.
Ces équipements sont adaptés aux environnements propres de classe 1-100. Aucune particule n’est générée, ce qui est vérifié grâce à des mesures en temps réel. De plus, les matériaux utilisés ne libèrent aucun gaz. On peut donc s’attendre à un fonctionnement 24/7, sans interruption inattendue. La durée de vie de ces équipements dépasse 5 000 heures, avec une dérive de performance inférieure à 5 %.
Pourquoi ces équipements conviennent aux usines de fabrication Dans ce secteur, la reproductibilité est la seule exigenceacceptable. Nos systèmes maintiennent les valeurs de température dans des plages très étroites, ce qui permet de contrôler précisément les dimensions critiques. Les profils du photo-résistant restent identiques, quel que soit le lot considéré.
On obtient ainsi un rendement stable, sans besoin de retraites dues à des problèmes thermiques. De plus, l’efficacité énergétique est optimale, et le nombre de remplacements de consommables est réduit grâce à la longue durée de vie de ces équipements. Résultat : moins d’écarts, des distributions plus précises, et un OEE fiable.
Ce qu’il faut prévoir Ces équipements sont conçus pour être intégrés directement dans les systèmes de séchage standards. Cependant, le couple thermique varie en fonction de la géométrie de la chambre et du flux gazeux. Il est donc nécessaire de réaliser des tests de calibration pour ajuster les paramètres PID et valider l’uniformité du champ thermique pour votre équipement spécifique.
Faites cela dès le début. Cela permettra d’obtenir un profil de séchage constant, d’une mise en marche à l’autre.