Dans l’usine de conditionnement, deux facteurs nuisent silencieusement au rendement : l’humidité qui reste après le nettoyage, et le photorésistant qui n’a pas été complètement durci. L’eau piégée provoque des défauts sur les puces lorsque celles-ci sont soumises à la chaleur. Le photorésistant mal durci se détériore lors du découpage, ce qui entraîne des micro-rayures qui finissent par transformer les puces en déchets. Ce qu’il faut, c’est un procédé thermique capable d’éliminer l’eau sans endommager les films minces, tout en assurant un contrôle précis sur le durcissement du photorésistant.
Ce qui est important du point de vue technique Nous utilisons des émetteurs à ondes courtes dans le domaine infrarouge proche, avec une réponse en quelques millisecondes. Cela permet de transférer directement de l’énergie vers l’eau et le film de photorésistant. Sur une puce de 300 mm, le système maintient une uniformité de température de ±0,1°C, et la répétabilité des paramètres de traitement reste à ±0,2°C, même après des milliers de cycles. L’équipement est conçu pour être utilisé en environnement propre de classe 1–100 : conception minimisant les particules, matériaux à faible émission de gaz, et absence totale de particules générées pendant le traitement des puces. Le nombre de particules reste inférieur au seuil autorisé, que ce soit lors du séchage doux, du séchage intensif ou du séchage préalable au conditionnement.
Pourquoi ça marche en pratique Le rayonnement infrarouge permet de sécher les puces en quelques secondes, ce qui réduit le temps de traitement sans faire monter excessivement leur température. Le séchage doux permet de maintenir une température stable, ce qui assure une qualité constante des bords des puces et une bonne adhérence entre elles. Le séchage intensif permet un durcissement stable du photorésistant, sans sur-durcissement. En conséquence, la résistance des puces s’améliore et le nombre de pièces endommagées diminue. Les avantages sont donc moins de travaux de réparation, un rendement prévisible, ainsi qu’une consommation d’énergie moindre par lot, par rapport aux fours conventionnels. Ces équipements fonctionnent 24/7, avec peu d’arrêts imprévus, grâce à une surveillance continue de la production et à des modules de remplacement rapides.
Ce qu’il faut retenir Le rayonnement infrarouge nécessite une ligne de vue directe entre l’émetteur et la puce. La distance entre eux doit être fixe et répétable afin de maintenir l’uniformité. Le contrôle de la température dépend de pyromètres calibrés et de tableaux d’émissivité adaptés au substrat. Nous fournissons des protocoles de traitement déjà validés pour les films courants, mais pour les nouveaux types de films, il est nécessaire de réaliser des tests pour déterminer les paramètres optimaux. L’installation est simple : il suffit d’avoir une alimentation électrique fiable et un système de terre isolé pour maintenir une stabilité électromagnétique.
En somme, il s’agit d’un système de contrôle thermique conçu pour répondre aux exigences du séchage des puces et du traitement du photorésistant avant le conditionnement : répétable, efficace et rapide.