Arrêtez d’attendre que votre four fonctionne : pourquoi la chaleur infrarouge est supérieure aux systèmes à air forcé dans le semi-finissage des semi-conducteurs
J’ai remarqué que de plus en plus d’usines de semi-conducteurs essaient de se passer des anciens systèmes de circulation d’air chaud. Le problème avec ces systèmes, c’est qu’ils sont lents. En fait, il faut attendre que chaque centimètre cube d’air dans la chambre soit chauffé avant même que la pièce à traiter ne ressente une différence. C’est très long. On passe la moitié du temps à attendre que la température monte.
La chaleur infrarouge, c’est autre chose. Au lieu de chauffer l’air, les ondes infrarouges transmettent leur énergie directement vers le substrat. C’est comme la différence entre attendre que une pièce s’échauffe et se trouver directement sous le soleil. Le temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée passe de minutes à secondes. C’est énorme. Ça signifie que vous pouvez traiter beaucoup plus de wafer par heure, sans avoir besoin d’ajouter plus d’espace pour des machines supplémentaires.
Mais on ne peut pas simplement utiliser n’importe quel type de câblage. Lorsqu’on travaille avec une telle densité de chaleur, l’isolation en PVC ou en silicone classique devient inutile : elle brûle ou se détériore presque instantanément. C’est pourquoi nous utilisons des câbles recouverts de Téflon. Ils résistent parfaitement à la chaleur, ce qui nous permet de placer les câbles plus près des émetteurs et de maintenir toute l’installation compacts.
Pour être honnête, ce n’est pas une baguette magique. La chaleur rayonnante se propage en ligne droite. Si vos pièces ont des formes irrégulières ou des recoins profonds, il y aura des zones froides où les ondes infrarouges ne peuvent pas atteindre. Il fallait donc être très précis quant à l’emplacement des lampes et à l’angle des réflecteurs, afin que tout soit chauffé uniformément.
Si vous êtes ingénieur, il est difficile de négliger les avantages en termes de vitesse et d’économie d’énergie.
Un conseil : vérifiez vos sources d’alimentation. Les lampes infrarouges génèrent un courant initial bien plus élevé que les chauffages résistifs. Assurez-vous que votre alimentation est adaptée, et utilisez des câbles en Téflon résistants à haute température. Ainsi, vous éliminerez presque entièrement les points de défaillance potentiels dans votre circuit de chauffage.