Arrêtez de chauffer votre chambre à vide !
Si vous avez déjà essayé de chauffer une plaquette ou un substrat à l’intérieur d’une chambre à vide, vous connaissez les difficultés. Il est difficile d’atteindre la température souhaitée sans risquer de chauffer les parois de la chambre.
Les lampes infrarouges standards ne sont en réalité que des ampoules plus puissantes – elles émettent de la chaleur dans toutes les directions. Dans un environnement à vide, une grande partie de cette énergie se réfléchit contre les parois intérieures. Ce n’est pas seulement un gaspillage d’énergie, mais c’est aussi préjudiciable pour le matériel. De plus, cela rend l’extérieur de la machine extrêmement chaud, ce qui représente un risque pour ceux qui se trouvent à proximité.
Le truc, c’est de diriger la chaleur là où vous le souhaitez.
Au lieu d’utiliser simplement un tube en quartz, nous utilisons des réflecteurs spécialisés et des émetteurs revêtus d’un matériau spécifique. C’est comme passer d’un projecteur à une lampe de poche : l’énergie infrarouge est concentrée en un faisceau étroit.
Résultat ? Le substrat reçoit la chaleur nécessaire, tandis que les parois de la chambre restent froides. Simple, non ?
Les équipements et leurs limites
Pour atteindre rapidement de hautes températures dans un environnement à vide, nous utilisons généralement des lampes halogènes à haute puissance. Elles émettent des radiations à courtes longueurs d’onde, ce qui permet d’augmenter rapidement la température. Nous les enveloppons dans du quartz résistant pour éviter qu’elles ne se brisent sous l’effet des chocs thermiques.
Mais attention : il faut être prudent avec la densité de puissance. Lorsque tant d’énergie est concentrée en un seul point, cela exerce une forte pression sur l’alimentation électrique. De plus, l’alignement doit être parfait. Si la lampe est décalée ne serait-ce que de quelques millimètres, elle ne cible plus correctement son objectif – elle se contente alors de chauffer votre matériel coûteux.
Préserver la sécurité
Il ne s’agit pas seulement d’économiser quelques dollars sur la facture d’électricité. Il s’agit aussi d’éviter de se brûler les mains. Lorsque la chaleur n’est plus dispersée partout, la coque extérieure ne fonctionne plus comme un radiateur géant. Les opérateurs peuvent donc se déplacer autour de la machine sans craindre de se brûler.
Et il y a encore un avantage caché : puisque les parois ne surchauffent pas, elles ne se dilatent ni ne se contractent autant. Cela signifie que les joints hermétiques restent étanches, et vous n’aurez pas à vous occuper des fuites toutes les semaines.