על רצפת המפעל, סטייה תרמית אחת בחדר ה-RTP עלולה למחוק את תקציב החום שלכם בשבריר שנייה. פרופילי הפוטורזיסט מתחילים לסטות. בקרת רוחב הקו יוצאת משליטה. התפוקה נפגעת. פיתחנו את תחליף מנורת ההלוגן ל-RTP כדי להסיר את חוסר הוודאות הזה מהמשוואה ולספק חימום חוזר ונשנה, מחזור אחרי מחזור.
הנה מה שיש מתחת למכסה המנוע. המנורה משתמשת בפולטני הלוגן קצרי גל בתוך מעטפת קוורץ, מכוילים לתגובה קרינתית מהירה. אנו ממפים את התפוקה לאורך מערך האזורים כדי להתאים את גאומטריית החדר, במטרה להשיג אחידות ברמת המשטח של ±0.1°C. בכיתה 1–100 בחדר נקי, העיצוב הנמוך בפליטת גזים מונע זינוק בספירת חלקיקים במהלך האפייה והחישול. בידוד סיבי פחמן מאטם את החום, מפחית צריכת חשמל במצב המתנה ומקצר את זמני העלייה בטמפרטורה. התפוקה נשארת יציבה מעל 5,000 שעות, עם סטייה בעוצמה של פחות מ-5%, כך ש-Cpk של התהליך אינו נפגע.
אפייה רכה ואפייה קשה תלויות בשליטה תרמית הדוקה — חפיפת הליתוגרפיה תלויה בכך. תחליף זה שומר על טמפרטורת הפוטורזיסט בתחום המפרט, בכל פעם, לאורך כל המכלול. תראו ירידה בצריכת האנרגיה כאשר זמני ההתחממות והקירור מתקצרים, מבלי לפגוע בדיוק הטמפרטורה. המערכת מתוכננת לפעולה רציפה 24/7, כלומר פחות הפתעות ועלות נמוכה יותר לכל וויפר מעובד.
לפני ההחלפה, ודאו התאמה של טביעת הרגל בבסיס, כיוון הטרמינל והמתח לשקע המנורה הקיים. לאחר ההחלפה, וודאו כי כיול החדר תקין; האחידות המחמירה עשויה להזיז את נקודת ההתייצבות. צפו לזמן התחממות מעט ארוך יותר להשגת שיווי משקל תרמי במהלך ההחלפה הראשונה. תכננו ריצת הסמכה קצרה לסגירת חלון התהליך מחדש.