בקומת הייצור, טיימר חסר בתנור ייבוש ופרוסות הוא לא רק עצירת קו. זה יכול לגרום לכך שהפוטו-רזיסט לא יתייבש כראוי, לאפשר יצירת עור במהלך הייבוש, ולהתבטא כממיסים שאריים או פגמים בדפוס בנתוני התשואה. בנינו את תנור הייבוש עם טיימר כדי לשמור על הצעדים התרמיים קבועים וחוזרים על עצמם. זמן וטמפרטורה הם שניהם בלתי ניתנים למשא ומתן בליתוגרפיה ובהכנת פרוסות.
הליבה שלו היא מערכת תרמית מותאמת לעבודה. מפיקי אינפרא אדום בטווח קצר מספקים חימום מהיר ומחובר ישירות, עם אחידות ברמת הפרוסה של ±0.1°C על פני כל הקבוצה. תאי קוורץ משולבים ומסנני מחזור באיכות HEPA שומרים על יצירת חלקיקים באפס, כך שניתן להפעיל חדר נקי בדרגת 1–100 ללא בעיות. הטיימר אינו נוחות. הוא מנגנון חיבור לתהליך שמכריח את הזמן המדויק לייבוש רך ולייבוש לאחר ניקוי, שומר על תקציב תרמי ומונע סטייה בין מחזורים.
הנה מה שזה מעניק לך בפועל: פרופילי ייבוש לפוטו-רזיסט שמגיעים ליעד בשניות, עם חזרתיות ששומרת על יציבות של CD ומפחיתה את הצורך בעבודות חוזרות. מחזורי הייבוש מסתיימים עם פחות שמירה על לחות, כך שניתן להעביר פרוסות במהירות רבה יותר دون לפגוע במשטח. צריכת האנרגיה יורדת מכיוון שהתנור מגיע לנקודת ההגדרה במהירות ושומר עליה ללא חציית גבול, וזמן הפעולה נשאר יציב בעיצוב שמסוגל לפעול 24/7 ומקנח במהירות בין קבוצות.
ההתקנה פשוטה, אך תכנן את השירותים שלך. התנור זקוק למעגל חשמל ייעודי ואוויר דחוס נקי ויבש בשביל הפינוי והפליטה. התאמת הטיימר למערכת המארחת שלך היא פשוטה. עם זאת, במהלך ההסמכה, יש לאמת את זמני המתכון מול עקומת הייבוש של ספק הרזיסט שלך. כמה פורמולציות רגישות יותר לגבול העלייה מאשר להשהייה בלבד.