כאן תמצאו את העמודים אשר משתמשים בטקסונומיה “פוסט” מייבש חום לאחר CMP לשבבי סיליקון בחדר הייצור, סימן מים אחד לאחר CMP מספיק כדי לפגוע בתשואה. ייבוש קונבנציונלי משאיר מאחור טיפות מיקרו או מערבב חלקיקים שמזיקים לשלב הליתוגרפיה הבא.... Read more...
מייבש חום לאחר CMP לשבבי סיליקון בחדר הייצור, סימן מים אחד לאחר CMP מספיק כדי לפגוע בתשואה. ייבוש קונבנציונלי משאיר מאחור טיפות מיקרו או מערבב חלקיקים שמזיקים לשלב הליתוגרפיה הבא.... Read more...
