फैब फ्लोर पर, क्वांटम चिप का यील्ड थर्मल प्रोफाइल पर निर्भर करता है। फोटोरेजिस्ट बेक के दौरान वेफर पर कुछ दसवें डिग्री का भी बदलाव ओवरले और CD कंट्रोल को प्रभावित करने के लिए पर्याप्त होता है—और इसी तरह आप महंगे सब्सट्रेट्स और शेड्यूल को खराब कर देते हैं। हमने क्वांटम कंप्यूटिंग चिप फैब हीटर को इस रेखा को बनाए रखने के लिए बनाया है।
यहाँ महत्वपूर्ण आंकड़े हैं। यह सक्रिय क्षेत्र में वेफर-स्तरीय समानता ±0.1°C के भीतर रखता है, और सेटपॉइंट पुनरावृत्ति ±0.05°C से बेहतर है। क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटर सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक के लिए तेज़ और साफ प्रतिक्रिया देते हैं, और हीटर बॉडी क्लीनरूम-योग्य है, क्लास 1–100 पर्यावरण के लिए उपयुक्त।
कण उत्पादन को एक सील्ड, कम आउटगैसिंग निर्माण और फ़िल्टर्ड एयर पथ के साथ नियंत्रित किया जाता है। सामान्य संचालन के तहत, 0.1 μm पर एकल-अंकीय कण संख्या वृद्धि देखी जाती है। रैंप नियंत्रण फोटोरेजिस्ट थर्मल बजट के अनुसार ट्यून किया गया है, जो स्किन इफेक्ट को कम रखता है और सॉल्वेंट ट्रैपिंग से बचाता है।
क्वांटम चिप कार्य के लिए इसका महत्व: लिथोग्राफी ओवरले और गेट CD सहिष्णुता बेहद सख्त होती है। इस हीटर के साथ, थर्मल सिग्नेचर वेफर पर स्थिर रहता है, जिससे आपका फोटोरेजिस्ट प्रोसेस पूर्वानुमेय ढंग से काम करता है—लॉट दर लॉट। परिणामस्वरूप, रिवर्क कम होते हैं, CD और ओवरले वितरण स्थिर रहते हैं, और साइकिल टाइम विश्वसनीय होते हैं।
कुशलता दो जगह दिखाई देती है। एमिटर डिजाइन कुशल है और इंसुलेशन सघन है, जिससे ऊर्जा खपत कम होती है। और मॉड्यूलर हॉट जोन टूल एक्सेस कठिन होने पर रखरखाव में समय बचाता है।
कुछ व्यावहारिक नोट्स। हीटर को क्लीनरूम स्पेक के भीतर बनाए रखने और एमिटर विंडो पर थिन-फिल्म बिल्डअप से बचाने के लिए एक समर्पित, फ़िल्टर्ड सप्लाई की आवश्यकता होती है। लैंप बदलने के बाद, समानता को पुनः सत्यापित करने से पहले इसे संक्षिप्त थर्मल सोक दें।
सामान्य 150 mm और 200 mm प्लेटफॉर्म पर संगतता सीधी है। 300 mm इंटीग्रेशन के लिए, साइट-विशिष्ट फिक्सचर समीक्षा योजना बनाएं—चेंबर क्लियरेंस और गैस फ्लो प्रतिबंधों को साइन ऑफ़ करने से पहले सुलझाना आवश्यक है।