फैब फ्लोर पर, CMP के बाद एकल जल चिह्न उत्पादन को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। पारंपरिक सुखाने से सूक्ष्म-ड्रॉपलेट बच जाते हैं या कणों को हिलाकर अगले...

लिथोग्राफी फ्लोर पर, 300 mm वेफर लाइन के टैक्ट के साथ कोट से बेक तक लॉकस्टेप में बहता है। सॉफ्ट बेक 90 °C पर, हार्ड बेक 110 °C पर। फोटोरेज़िस्ट को...