Di lantai produksi, satu saja bekas air setelah CMP dapat menggagalkan hasil produksi. Pengeringan konvensional meninggalkan mikro-tetesan atau...

Di lantai pabrik, timer yang terlewat pada oven pengering wafer bukan sekadar menghentikan jalur produksi. Ini dapat mengganggu proses soft bake...