Sul piano di lavoro, è proprio il profilo di temperatura durante la fase di cottura a determinare le dimensioni critiche del fotorestante e il profilo delle pareti laterali. Anche un piccolo errore di temperatura può causare variazioni nella larghezza delle linee tratteggiate, influenzando negativamente il processo di etching. Per eliminare questa variabilità, abbiamo progettato pannelli riscaldanti a infrarossi in ceramica.
Il nucleo del pannello è costituito da un elemento ceramico ad alta emissività, abbinato a radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda: questo permette un riscaldamento rapido e diretto, con una massa termica minima. La uniformità della temperatura sul piano di lavoro è di ±0,1°C, mentre la ripetibilità del valore di temperatura di riferimento rimane entro ±0,2°C, anche quando il sistema funziona 24/7.
Inoltre, questi pannelli sono adatti per essere utilizzati in ambienti puliti di classe 1–100. La superficie ceramica sigillata e i materiali a bassa emissione di gas riducono notevolmente la presenza di particelle nell’ambiente, evitando così la formazione di particelle durante le fasi di riscaldamento. La risposta del sistema è veloce: il controllo avviene in millisecondi, permettendo di mantenere valori di temperatura precisi durante le fasi di cottura, senza superare i limiti consentiti.
Che si tratti di impianti per litografia o di stazioni di cottura indipendenti, questo controllo termico garantisce una stabilità nelle dimensioni dei componenti prodotti, riduce i difetti legati al fotorestante e assicura una selezione precisa durante il processo di etching. Si ottengono cicli di cottura più rapidi, senza compromettere l’integrità del profilo termico; inoltre, l’efficienza del sistema a infrarossi riduce il consumo energetico e minimizza le interruzioni legate alla manutenzione. Da un lotto all’altro, il profilo termico rimane costante, permettendo di ottenere risultati precisi dove è necessario.
Bisogna però tenere conto delle limitazioni pratiche: il pannello richiede supporti con bassa massa termica e una supply di alimentazione elettrica affidabile, per mantenere integro il ciclo termico. Le tolleranze di installazione sono molto strette: entro 0,1 mm. Inoltre, è necessario scegliere materiali adatti per controllare l’emissione di gas.
Se l’allineamento viene eseguito correttamente, il pannello può essere inserito facilmente nei sistemi esistenti, fornendo il controllo termico necessario per i processi di litografia ed etching.