ガラスの破片を防ぐ：IRランプの故障対処法 半導体ウェーハの加工に従事している人なら、その状況をよく知っているでしょう。高負荷の処理を行っている最中に、突然IRランプが壊れてしまうのです。 停止時間だけが問題ではありません。それに続くのは悪夢のような状況です。石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲ...

ファブフロアでは、熱の逸脱は単なる非効率ではなく歩留まりを著しく低下させる要因である。わずか1℃のずれでもソフトベーク時のフォトレジストの膜厚にばらつきが生じ、半乾燥状態のドライ工程では残留した水分がパターンの整合性を損なう。リニア赤外線ヒーティングエミッターは、制御可能なエネルギーを直接ターゲッ...