Op de plaatvloer zorgt het zachte warmtemodel voor een stabiele temperatuur, waardoor de cruciale afmetingen van de fotorezist en de vorm van de zijkanten behouden blijven. Een verschil van half graden kan al leiden tot afwijkingen in de breedte van de lijnen die worden gemaakt tijdens het etenproces. Onze keramische infraroodverwarmer is zo ontworpen dat deze variabiliteit wordt weggewerkt.
Het hart van de verwarmer bestaat uit een keramisch element met hoge emissie, gecombineerd met kortegolfricht infraroodlicht. Hierdoor wordt er snel en efficiënt warmte gegenereerd, met minimale thermische massa. Op het vlak van de plaat blijft de uniformiteit op ±0,1°C, en de herhaalbaarheid van de ingestelde temperatuur ligt bij ±0,2°C, zelfs wanneer de apparatuur 24/7 draait.
De verwarmer kan ook worden gebruikt in zuiverruimten van klasse 1–100. De afgesloten keramische oppervlakte en de materialen met lage uitstoot van gassen zorgen ervoor dat het aantal deeltjes onder controle blijft. Er wordt geen enkel deeltje geproduceerd tijdens het gebruik van de apparatuur. De reactietijd is zeer snel – milliseconden – zodat er nauwkeurige temperatuurregeling mogelijk is, zonder dat er sprake is van overdracht van warmte.
Of het nu gaat om lithografieprocessen of losse verhittingssystemen: deze thermische controle zorgt voor een stabiele afmeting van de fotorezist, minder defecten en een betrouwbare selectiviteit tijdens het etenproces. Je kunt snellere verhittingscyclusen gebruiken, zonder dat de kwaliteit van het proces wordt aangetast. Bovendien wordt er minder energie verbruikt dankzij de efficiënte infraroodtechnologie, en zijn er minder onderhoudskosten. Van batch tot batch blijft de thermische golfvorm consistent, zodat je de gewenste procesparameters kunt bereiken.
Houd rekening met de praktische beperkingen. De verwarmer heeft specifieke bevestigingsmogelijkheden nodig, zodat de thermische kring gesloten blijft. De installatievereisten zijn strikt – binnen 0,1 mm – en je moet ook rekening houden met de materialen die worden gebruikt om de uitstoot van gassen te beperken.
Als alles goed wordt gealigneerd, past de verwarmer zich gemakkelijk in de bestaande systemen en apparaten in. Hierdoor krijg je de benodigde temperatuurregeling voor je lithografie- en etenprocessen.