Op de productielijn is het drogen van polyimide geen stap die je eenvoudig kunt controleren. Het gaat om een thermisch proces dat goed beheerd moet worden. Als je de optimale temperatuur zelfs maar met een paar graden mist, kan dit leiden tot onvolledige vlakke afwerking, zwakke hechting tussen de lagen of spanningen die ervoor zorgen dat de chip vervormt. Op de huidige productieniveaus is er geen plaats voor zulke fouten.
Wat belangrijk is achter de schermen
Voor het drogen van polyimide is stabiele en herhaalbare warmte nodig. We houden de uniformiteit op het niveau van de chip op ±0,1°C, zodat het hele oppervlak dezelfde thermische behandeling krijgt. Kortegolflengte-infraroodverwarming past zich aan de absorptie van polyimide aan, waardoor de opwarmtijd wordt verkort en er geen ‘hot spots’ ontstaan.
De compatibilité met cleanrooms van klasse 1–100 is al in het ontwerp verwerkt: materialen met lage uitstoot, afgesloten kamers en interne filtering zorgen ervoor dat het aantal deeltjes constant blijft tijdens langdurige productieprocessen. Het vermijden van deeltjevorming is geen slogan – het is een vereiste die we naleven, ondersteund door continue monitoring.
Waarom deze platform werkt
Hetzelfde systeem wordt gebruikt voor het drogen van chips, het verhitten van fotoresist, het verzegelen van chips en het drogen na de reiniging. Hierdoor hoef je de thermische parameters niet steeds opnieuw in te stellen. Precise controle van de temperatuur zorgt voor betere resultaten en consistente kwaliteit van de chips.
De herhaalbaarheid van het proces zorgt voor minder afval en herwerkwerk, kortere productietijden en een hogere opbrengst. De energieverbruik neemt af, omdat de infraroodstraling rechtstreeks het materiaal verwarmt, in plaats van de wanden van de kamer. De betrouwbaarheid van het systeem is zo hoog dat het 24/7 kan draaien, met mogelijkheid tot planning van onderhoud in plaats van onverwachte stilstand.
Wat je moet onthouden
Infraroodverwarming werkt alleen wanneer er een direct zichtlijn is tussen de bron en het materiaal. Daarom zijn de hoogte van de lagen en de emissiviteit belangrijk. We voeren eerst een kort testproces uit om de optimale parameters vast te stellen voor jouw specifieke polyimide-laagdikte en de lagen eronder.
Het systeem is compact en gemakkelijk te integreren. Zorg er echter van dat alle nodige faciliteiten al van tevoren klaarstaan: stroom, afluchtingen en verbindingen met de cleanroom. Dit voorkomt problemen tijdens de installatie.