Houd op met wachten op de juiste temperatuur voor de wafer: waarom UHP-infraroodlampen de oplossing zijn
Laten we het hebben over het probleem van het verwarmen van semiconductoren tijdens het productieproces.
Al lang maken we gebruik van hete luchtcirculatie. Maar het nadeel is dat dit proces langzaam verloopt. Je moet eerst de lucht verwarmen, zodat deze weer de wafer kan verwarmen. Het is een overbodige stap.
UHP-infraroodlampen vermijden deze complicatie. Ze maken gebruik van stralingsoverdracht; de energie bereikt het doel met de snelheid van het licht. Het gebeurt in een oogwenk.
Het wachten kost je veel tijd en geld
Als je ooit in een fabriek met hoge productiesnelheden hebt gewerkt, weet je dat thermische vertragingen een groot probleem zijn. Je moet minutenlang wachten tot de kamer een constante temperatuur heeft bereikt.
Bij hoge productiesnelheden zijn die minuten niet alleen irritant, maar ze kosten ook geld.
Met UHP-infraroodlampen wordt dit proces versneld tot seconden. Je kunt de temperatuur beter reguleren en meer waferverwerken, zonder dat je risico loopt op schade aan de apparatuur. Het proces verloopt efficiënter.
Het behouden van zuiverheid en precisie
In deze branche is ‘zuiverheid’ geen advies – het is essentieel. Eén klein metalen ion dat zich in het proces mengt, kan al tot problemen leiden. Daarom gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts voor deze lampen. Geen contaminatie, geen verrassingen.
We passen ook de golflengte van de uitgestraalde energie aan op wat het materiaal nodig heeft om te absorberen. Bovendien is de vermogensdichtheid zo hoog dat de lampen relatief klein zijn. Je kunt dus meer verwarmingselementen rondom de wafer plaatsen, of juist de verwarmingszone verkleinen om ruimte te besparen.
De eerlijke compromissen
Het is geen magische oplossing. Er zijn nog wel een paar dingen waar je op moet letten.
Omdat infraroodverwarming richtinggebonden is, werkt het niet zoals hete luchtcirculatie. Als de reflectoren of bescherming niet perfect zijn, ontstaan er koude plekken. Je moet dus zorgvuldig zijn met de geometrie van de reflectoren om een gelijkmatige temperatuur te behouden.
En omdat deze lampen zoveel vermogen leveren in een klein gebied, mag je het koelsysteem niet negeren. Als dit systeem niet goed is geregeld, kunnen de lampen beschadigd raken tijdens snelle cycli.
Als je het koelsysteem en de reflectoren goed instelt, krijg je een systeem dat snel, schoon en betrouwbaar is.