W fabryce pakowania dwie rzeczy potajemnie obniżają stopień wydajności: wilgoć, która pozostaje po czyszczeniu, oraz fotorezyst, który nie został w pełni utwardzony. Zatrzymana woda powoduje powstanie defektów podczas procesu wytapiania, natomiast niewystarczająco utwardzony fotorezyst powoduje powstawanie mikrorysek, które przekształcają się w odpady. Potrzebny jest więc proces termiczny, który pomoże usunąć wodę bez uszkadzania cienkich warstw, a także umożliwi kontrolowane utwardzenie fotorezystu.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Używamy emiterów krótkofalowego podczerwonego światła o szybkim czasie reakcji, które dostarczają energię bezpośrednio do wody i warstwy fotorezystu. Na płytce o rozmiarze 300 mm system zapewnia jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność wartości temperatury wynosi ±0,2°C przy tysiącach cykli. Sprzęt jest przeznaczony do pracy w środowisku klasy 1–100 – ma konstrukcję minimalizującą ilość cząsteczek, używa materiałów o niskiej emisji gazów, a także gwarantuje brak powstawania cząsteczek podczas standardowej obsługi płytek. Liczba cząsteczek pozostaje poniżej dopuszczalnego poziomu dzięki procesom delikatnego i intensywnego suszenia.
Dlaczego to działa w praktyce Podczerwone światło suszy płytki w ciągu sekund, dzięki czemu czas cyklu się skraca, a temperatura płytki nie rośnie zbytnio. Proces delikatnego suszenia zachowuje stałe warunki termiczne, co zapewnia dobrą jakość powierzchni płytki. Intensywne suszenie zapewnia stabilne połączenia między elementami płytki, co poprawia jej wytrzymałość i zmniejsza liczbę odpadów. Efektem jest mniej prace naprawczych, przewidywalna wydajność oraz niższe zużycie energii w porównaniu z piecami konwekcyjnymi. Te urządzenia mogą pracować 24/7 z minimalną ilością przerw, dzięki ciągłemu monitorowaniu wydajności i modułom umożliwiającym szybką wymianę części.
To, co należy pamiętać Aby podczerwone światło mogło skutecznie suszyć płytki, konieczna jest wolna linia wzroku pomiędzy emiterem a płytką, a odległość ta musi być stała i powtarzalna, aby uzyskać jednorodność. Kontrola temperatury polega na użyciu kalibrowanej pomiarówki temperatury oraz tabel emisyjności dostosowanych do rodzaju podłoża. Udostępniamy gotowe procedury dla popularnych typów warstw, ale nowe konfiguracje wymagają krótkiego okresu testowania, aby ustalić odpowiednie parametry. Instalacja jest prosta – wystarczy czyste zasilanie i izolowany grunt, aby zapewnić stabilność sygnału EMI.
Podsumowując: to rozwiązanie umożliwia skuteczną kontrolę termiczną podczas suszenia płytek i obróbki fotorezystu przed pakowaniem – jest ono powtarzalne, efektywne i szybkie.