Reduzindo as emissões de carbono na sala limpa: uma maneira mais eficiente de secar wafers
Sejamos honestos: a etapa de enxágue nas fábricas de semicondutores costuma ser responsável pelo consumo excessivo de energia. É um grande desperdício de energia. Por muito tempo, utilizamos fornos convencionais para aquecer todo o ambiente, só para secar alguns wafers. Isso é extremamente ineficiente.
Por isso, passamos a usar lâmpadas infravermelhas à prova d’água. Em vez de aquecer o ar ao redor dos wafers, direcionamos o calor diretamente para onde está a água. É um processo mais eficiente e limpo, que realmente ajuda a reduzir a pegada de carbono.
Lidando com o caos
Os locais de enxágue são perigosos. Há umidade por toda parte, e se uma única gota atingir os eletrodos da lâmpada, ela pode queimar imediatamente. Para evitar isso, usamos invólucros de quartzo e selos herméticos. Eles mantêm o interior da lâmpada seco, enquanto o exterior lida com o caos. Usamos luzes infravermelhas de onda curta, pois elas conseguem penetrar na camada de água sobre os wafers. A água não só seca, mas desaparece em segundos.
Criando fábricas mais sustentáveis
Se você quer uma fábrica que não prejudique o planeta, precisa parar de pagar por energia que não está sendo utilizada. Os fornos tradicionais continuam quentes o dia todo, mesmo quando não há nada dentro deles. Nossos sistemas infravermelhos são diferentes: eles funcionam apenas quando necessário. A lâmpada aciona-se no momento em que o wafer entra na área de secagem e desliga-se assim que ele sai. Sem calor desnecessário. Sem desperdício de dinheiro.
Mas atenção: esses dispositivos geram muito calor. Como são projetados para alta eficiência, eles ficam extremamente quentes. Se o gabinete não for capaz de dissipar esse calor, ele pode danificar o equipamento ou afetar a temperatura das estações seguintes. É preciso garantir um bom fluxo de ar.
Como funciona na prática
A melhor parte? Não é preciso substituir toda a linha de produção. Esses dispositivos são como substitutos para os atuais sistemas de secagem. Basta conectá-los à lógica do PLC, de modo que funcioneem em sincronia com a velocidade do transportador. Como são à prova d’água, você pode usar jatos de água sob alta pressão sem preocupações com respingos.
Por favor, verifique os selos a cada seis meses. Leva apenas cinco minutos, mas se um selo falhar, a lâmpada queimará. Isso interrompe a produção, desperdiça materiais e transforma um dia bom em um verdadeiro problema.