Pare de tentar aquecer o interior da câmara de vácuo diretamente. Se você já tentou aquecer uma placa ou substrato dentro de uma câmara de vácuo,...

Pare de aquecer a câmara de vácuo (e comece a aquecer o wafer) Se você já passou algum tempo em uma fábrica de semicondutores, sabe bem qual é o...