
На линии длиной 300 мм отклонение температуры на уровне 2°C во время процедуры просушки фотополимера не является критическим фактором. Это приводит лишь к незначительным изменениям ширины линий на плате, к бракованным партиям продукции, а также к снижению качества продукции до уровня, который никто не ожидает. Термостабильность – это не просто желательное свойство; это неотъемлемая часть процесса.
Что действительно важно Мы разработали эти устройства с учетом требований термического контроля в процессе литографии – как для процедур мягкой, так и жесткой просушки. Уровень однородности температуры на всей площади платы поддерживается на уровне ±0,1°C. Кварцево-галогенные элементы обеспечивают предсказуемый профиль излучения. Варианты с использованием инфракрасного излучения позволяют ускорить процесс затвердевания материала без возникновения экстремальных значений температуры.
Устройства пригодны для использования в чистых комнатах классов 1–100. Наличие частиц полностью исключается благодаря использованию методов контроля в режиме реального времени, а материалы, из которых изготовлены устройства, не выделяют газов. Ожидается возможность круглосуточной работы без перерывов; срок службы устройств превышает 5 000 часов, а отклонение параметров работы составляет менее 5%.
Почему эти устройства подходят для использования на производстве В этой отрасли единственным приемлемым показателем является повторяемость результатов. Наши устройства поддерживают температуру в заданных пределах, что позволяет контролировать размеры деталей с высокой точностью. Профили фотополимера остаются неизменными даже при обработке сотен партий продукции.
Это обеспечивает стабильную производительность без необходимости корректировок из-за тепловых факторов. Также снижается потребление энергии за счет эффективной системы термического управления. Благодаря долгому сроку службы снижается количество замен конsumуемых материалов. В результате получается лучшее качество продукции и высокий уровень эффективности производства.
Что необходимо учитывать при использовании Эти устройства предназначены для использования в стандартных установках для просушки, но параметры термического управления могут меняться в зависимости от геометрии камеры и потока газа. Перед началом использования необходимо провести короткие тесты для настройки параметров PID и проверки однородности температуры для конкретной установки.
Это позволит сохранять стабильные параметры процесса просушки на протяжении всего времени работы устройства.