На поверхности пластинки именно профиль температуры во время мягкой обработки определяет критические размеры фоторезиста и форму его боковых стенок. Даже небольшое отклонение температуры в полградуса приводит к изменению ширины линий, что в свою очередь влияет на процесс этичения. Мы разработали керамический инфракрасный нагревательный элемент, который позволяет устранить такие отклонения.
Ядро нагревателя представляет собой керамический элемент с высоким коэффициентом излучения, работающий в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения. Это обеспечивает быстрое и прямое нагревание с минимальной тепломассой. На уровне всей пластинки стабильность температуры составляет ±0,1°C, а точность установления заданной температуры — ±0,2°C, даже при круглосуточной работе.
Нагреватель может использоваться в чистых комнатах класса 1–100. Закрытая керамическая поверхность и материалы с низким уровнем выбросов газов позволяют контролировать количество частиц в воздухе; при этом не возникает никаких частиц во время процессов нагрева. Реакция нагревателя очень быстрая — контроль осуществляется за доли секунды. Это позволяет достичь заданных температур без превышения значений.
Будь то устройства для литографии или отдельные установки для нагрева, такой контроль температуры способствует стабильности параметров фоторезиста, снижению количества дефектов и обеспечивает предсказуемую селективность процесса этичения. Это позволяет сократить время нагрева без ущерба для качества продукции, снизить энергопотребление за счет эффективной передачи тепла и уменьшить количество простоев в процессе эксплуатации. Качество нагрева остается стабильным при каждой партии продукции, что позволяет использовать процесс в любых условиях.
Необходимо учитывать практические ограничения: нагреватель требует использования элементов с низкой тепломассой и чистых электрических контактов для поддержания стабильности теплового цикла. Точность установки составляет около 0,1 мм, а для контроля выбросов газов необходимо использовать специальные материалы.
При правильной установке нагреватель может быть использован в существующих устройствах для нагрева, обеспечивая необходимый контроль температуры для процессов литографии и этичения.