Сокращение выбросов углерода в чистых помещениях: более эффективный способ сушки пластин
Честно говоря, на этапе промывки в производствах полупроводников тратится огромное количество энергии. Это значительная трата ресурсов. Долгое время мы использовали мощные конвекционные печи для нагрева всего помещения лишь ради сушки нескольких пластин. Это было неэффективно.
Поэтому мы перешли на использование водонепроницаемых инфракрасных ламп. Вместо нагрева воздуха вокруг пластины тепло направляется прямо туда, где находится вода. Это более эффективный метод, который действительно помогает сократить объем выбросов углерода.
Борьба с проблемами, связанными с влагой
В условиях промывки всегда много влаги. Если хотя бы одна капля попадет на электроды лампы, это может привести к её поломке. Чтобы этого избежать, мы используем кварцевые оболочки и герметичные уплотнители. Они сохраняют внутреннюю часть лампы сухой, в то время как снаружи все контролируется. Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение, которое проникает сквозь слой воды на поверхности пластины. Вода не только высыхает, но и исчезает за считаные секунды.
Создание более экологичного производства
Если вы хотите, чтобы ваш завод не наносил вред планете, необходимо перестать тратить деньги на ненужное нагревание. Старомодные печи остаются горячими весь день, даже когда внутри ничего нет. Наши инфракрасные системы работают по принципу «на заказ». Лампа включается в момент, когда пластина попадает в зону обработки, и выключается сразу после её ухода. Никакого избыточного нагрева. Никаких потерь денег.
Но есть одно предупреждение: эти устройства очень горячие. Поскольку они разработаны для высокой эффективности, они могут достигать очень высоких температур. Если корпус устройства не способен эффективно отводить тепло, это может привести к деформации корпуса или нарушению температурного режима на следующем этапе производства. Необходимо правильно организовать циркуляцию воздуха.
Применение в практике
Самое замечательное заключается в том, что вам не нужно заменять всю систему сушки. Эти устройства можно использовать вместо существующих устройств для сушки. Просто подключите их к логике управления, чтобы они работали синхронно с скоростью конвейера.
Поскольку эти устройства водонепроницаемые, вы можете использовать высокое давление при промывке, не беспокоясь о повреждениях от брызг.
Пожалуйста, проверяйте уплотнители каждые шесть месяцев. Это займет всего пять минут, но если уплотнитель повреждается, лампа перестанет работать. Это приведет к потере времени, расходу материалов и превратит хороший день в проблему.