บทความเทคนิคด้านอุตสาหกรรม
บนชั้นฟาบริการ ไทม์เมอร์ที่พลาดไปในเตาอบอบแห้งเวเฟอร์ไม่ใช่แค่การหยุดการผลิต แต่สามารถทำให้ฟิล์มฟอตอรีซิสต์ไม่ถูกอบอย่างเหมาะสม ทำให้เกิดผิวหนังระหว่างการอบแห้ง และแสดงผลเป็นตัวทำละลายที่เหลืออยู่หรือข้อบกพร่องในรูปแบบในข้อมูลผลผลิต เราได้สร้างเตาอบอบแห้งเวเฟอร์ที่มีไทม์เมอร์เพื่อรักษาขั้นตอนความร้อนเหล่านั้นให้แน่นหนาและสามารถทำซ้ำได้ เวลาและอุณหภูมิเป็นสิ่งที่ไม่สามารถเจรจาได้ในการถ่ายภาพและการเตรียมเวเฟอร์
แกนหลักของมันคือสแต็กความร้อนที่ตรงตามงาน ผู้ปล่อยรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและเชื่อมต่อโดยตรง พร้อมความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งกลุ่ม ห้องควอทซ์ที่รวมและการกรองการหมุนเวียนระดับ HEPA ควบคุมการสร้างอนุภาคให้เป็นศูนย์ ทำให้คุณสามารถทำงานในห้องสะอาดระดับ 1–100 ได้โดยไม่ต้องกังวล ไทม์เมอร์ไม่ใช่เพียงแค่ความสะดวกสบาย แต่เป็นการเชื่อมโยงกระบวนการที่บังคับให้มีการอยู่ในช่วงเวลาที่แน่นอนสำหรับการอบฟิล์มอย่างอ่อนและการอบแห้งหลังการทำความสะอาด โดยรักษางบประมาณความร้อนและลดการเบี่ยงเบนระหว่างรอบ
นี่คือสิ่งที่คุณจะได้รับในทางปฏิบัติ: รูปแบบการอบฟิล์มฟอตอรีซิสต์ที่ตรงตามเป้าหมายในไม่กี่วินาที พร้อมความสามารถในการทำซ้ำที่ช่วยรักษาความเสถียรในการควบคุม CD และลดจำนวนการทำงานซ้ำรอบการผลิต รอบการอบแห้งเสร็จสิ้นด้วยการเก็บรักษาความชื้นที่น้อยลง ทำให้คุณสามารถเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ได้รวดเร็วขึ้นโดยไม่ทำให้พื้นผิวเสียหาย การใช้พลังงานลดลงเพราะเตาอบสามารถไปถึงจุดตั้งค่าได้อย่างรวดเร็วและรักษาไว้ได้โดยไม่เกินขอบเขต และการทำงานอยู่ในระดับที่มั่นคงด้วยการออกแบบที่รองรับการทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวันและสามารถเย็นลงได้อย่างรวดเร็วระหว่างกลุ่ม
การติดตั้งเป็นไปอย่างตรงไปตรงมา แต่ควรวางแผนการใช้สาธารณูปโภค เตาอบต้องการวงจรไฟฟ้าที่เฉพาะเจาะจงและอากาศอัดที่สะอาดและแห้งสำหรับการระบายและเส้นทางไอเสีย การจับคู่ไทม์เมอร์กับตัวควบคุมหลักของคุณนั้นทำได้ง่าย แต่ในระหว่างการตรวจสอบ คุณต้องตรวจสอบเวลาในการทำสูตรตามแนวโค้งการอบของผู้ขายฟิล์มของคุณ สูตรบางอย่างมีความไวต่อขอบการเพิ่มขึ้นมากกว่าการแช่อย่างเดียว