บนชั้นลิโธกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.3°C ตลอดแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างการอบแบบซอฟต์เบค อาจทำให้โปรไฟล์โฟโต้เรซิสต์เคลื่อนที่ในระดับนาโนเมตร—และนั่นคือเส้นแบ่งระหว่างการผลิตได้กับการผลิตเสีย เราได้พัฒนาระบบให้ความร้อนแบบแบ่งโซนสำหรับโรงงานเวเฟอร์ขั้นสูงเพื่อลดปัจจัยความไม่แน่นอนนี้
ข้อเทคนิคที่สำคัญ
ระบบทำงานบนไส้ฮาโลเจนควอตซ์คลื่นสั้น พร้อมการควบคุมโซนครอบคลุมแต่ละโซนอย่างอิสระ จึงตอบสนองได้รวดเร็วและรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับแผ่นเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ในช่วงอุณหภูมิตั้งแต่ 90°C ถึง 250°C ความแม่นยำซ้ำระหว่างช็อตอยู่ที่ ±0.05°C ซึ่งหมายความว่าขั้นตอนสำคัญของการอบ—ซอฟต์เบค, ฮาร์ดเบค และโพสต์เอ็กซ์โปเชอร์เบค—จะอยู่ในสเปค ไม่ต้องตามแก้ไขความแปรปรวน
บล็อกฮีตเตอร์เสริมแรงด้วยเส้นใยคาร์บอนและฉนวนเซรามิกช่วยลดการปล่อยก๊าซและการสร้างฝุ่นละออง แพลตฟอร์มถูกออกแบบสำหรับห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุตามมาตรฐาน ISO Class 5 ผิวสัมผัสที่มีฝุ่นละอองต่ำ และเส้นทางการระบายอากาศที่รองรับ HEPA ระบบตรวจจับฝุ่นละอองแบบติดตั้งในที่ช่วยยืนยันการทำงานที่ไม่มีฝุ่นละออง ส่งผลให้ความผิดพลาดจากขั้นตอนอบไม่ส่งผลต่อยอดผลิต
เราลดการใช้พลังงานด้วยการควบคุมพลังงานแบบพัลส์ และ MTBF สูงกว่า 30,000 ชั่วโมงภายใต้การใช้งานต่อเนื่อง
เหตุผลที่ระบบนี้ใช้งานได้ในสายการผลิต
ในโรงงานขนาด 300 mm งบประมาณความร้อนไม่สามารถต่อรองได้ การให้ความร้อนแบบแบ่งโซนช่วยรักษาอุณหภูมิให้เสถียรจากขอบถึงขอบ จึงทำให้การควบคุมขนาดเส้น (CD) และความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ผิวข้างยังคงเหมือนเดิมในทุกล็อต ทำให้ได้การเรียงทับที่แม่นยำขึ้น ลดการทำงานซ้ำ และโปรไฟล์การอบที่ไว้วางใจได้โดยไม่ต้องตามแก้ไขจุดร้อนอย่างต่อเนื่อง
ความน่าเชื่อถือถูกเสริมสร้างในระบบนี้ ระบบสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันในสายผลิตแบบพายล็อต โดยไม่มีเวลาหยุดที่ไม่ได้วางแผนล่วงหน้า และระบบวิเคราะห์อาการล่วงหน้าช่วยยืดช่วงเวลาระหว่างการบำรุงรักษา
สิ่งที่ต้องวางแผนล่วงหน้า
การให้ความร้อนแบบแบ่งโซนต้องผสานรวมอย่างระมัดระวังในขอบเขตความร้อนและบัสควบคุมของเครื่องมือกระบวนการ การติดตั้งในเครื่องมือเดิมเป็นไปได้ แต่ต้องตรวจสอบช่องว่างทางกลและการป้องกันคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI) ในขั้นตอนติดตั้ง
ควรวางแผนระยะเวลาการคอมมิชชันนิง 2 วัน พร้อมด้วยการทำรันทดสอบคุณสมบัติ 1 วันเพื่อยึดแมทริกซ์การอบกับชั้นเรซิสต์ของคุณให้มั่นคง