Üretim alanında, poliimidin sertleştirilmesi, kontrol edilmesi gereken bir adım değildir; bu, yönetilmesi gereken bir termal süreçtir. Eğer belirlenen sıcaklık aralığını birkaç derece bile kaçırırsanız, yüzeyin düzgün şekilde sertleşmemesi, zayıf yapışma veya wafere stres uygulanması gibi sorunlar ortaya çıkabilir. Günümüzün üretim koşullarında böyle hatalara yer yoktur.
Poliimidin sertleşmesinde ne önemlidir?
Poliimidin sertleşmesi için istikrarlı ve tekrarlanabilir bir ısı gereklidir. Wafenin her noktasının aynı termal koşulları almasını sağlayarak, tüm filmin kenardan köşeye kadar aynı sıcaklık koşullarını yaşamasını sağlarız. Kısa dalga boylu kızılötesi ısıtma yöntemi, poliimidin ısısı emme özelliklerine uygun olarak kullanılır; bu sayede ısıtma süresi kısalır ve aşırı ısınma durumları engellenir.
Temiz oda standartlarına uyumluluk
Tasarımda temiz oda standartlarına uyumluluk da göz önünde bulundurulmuştur. Düşük gaz salınımına sahip malzemeler, kapalı odalar ve iç filtreleme sistemi sayesinde uzun süreli üretimde parçacık sayısı sabit tutulur. Sıfır parçacık üretimi sadece bir slogan değil; aynı zamanda gerçekleştirilen kontrollerle sağlanan bir zorunluluktur.
Bu platform neden tercih ediliyor?
Aynı sistem, wafelerin kurutulması, fotoresistlerin ısıtılması, paketleme işlemleri ve temizlik sonrası kurutma işlemlerini de gerçekleştirebiliyor. Böylece termal profili yeniden ayarlamanıza gerek kalmıyor. Fotoresistlerin ısıtılmasındaki hassas kontrol, daha iyi CD kontrolü ve daha tutarlı yan yüzey profilleri sağlar.
Tekrarlanabilirlik
Her üretimden sonra elde edilen sonuçların tekrarlanabilir olması, atık ve yeniden işleme gereksinimlerini azaltır, üretim süresini kısaltır ve verimliliği artırır. NIR ısıtma yöntemi sayesinde enerji tüketimi azalır; çünkü ısı doğrudan filme uygulanır, odanın duvarlarına değil. Güvenilirlik açısından ise sistem 24/7 çalışmaya uygun şekilde tasarlanmıştır; bakım işlemleri planlanabilir, böylece üretim durmaz.
Dikkat edilmesi gerekenler
NIR ısıtma yönteminde görüş hattı önemlidir; bu yüzden yığın yüksekliği ve emisivite önem taşır. Belirli poliimid kalınlığı ve alttaki katmanlar için uygun parametreleri belirlemek amacıyla kısa bir test gerçekleştirilir.
Sistem oldukça kompakttır ve entegrasyonu kolaydır; ancak kurulum sırasında güç, egzoz ve temiz oda bağlantıları gibi unsurlar önceden hazırlanmalıdır ki üretim süreci aksamasın.