На виробничому майданчику одна теплова екскурсія в камері RTP може миттєво вичерпати ваш тепловий бюджет. Профілі фоторезисту починають зсуватися. Контроль ширини ліній виходить з ладу. Вихід продукції знижується. Ми розробили заміну галогенної лампи для RTP, щоб усунути цю невизначеність і забезпечити повторюваний нагрівання, цикл за циклом.
Ось що всередині. Лампа використовує короткохвильові галогенні випромінювачі в кварцовій оболонці, налаштовані на швидку променеву реакцію. Ми картографуємо вихідну потужність по зональному масиву відповідно до геометрії камери, прагнучи до рівномірності на рівні пластини ±0,1°C. У чистій кімнаті класу 1–100 конструкція з низьким рівнем газовиділення запобігає стрибкам кількості частинок під час випікання та відпалу. Вуглецево-волоконна ізоляція утримує тепло, знижує споживання енергії в режимі очікування та скорочує час розігріву. Вихідна потужність залишається стабільною понад 5 000 годин з дрейфом інтенсивності менше 5%, тому показник Cpk процесу не страждає.
М’яке та жорстке випікання залежать від точного теплового контролю — на це впливає суміщення літографії. Ця заміна підтримує температуру фоторезисту у межах специфікації щоразу, по всій партії. Ви помітите зниження енергоспоживання завдяки прискореному розігріву та охолодженню без втрати точності температури. Пристрій розрахований на роботу 24/7, що означає менше несподіванок і нижчу собівартість обробленої пластини.
Перед заміною зіставте основу, орієнтацію клем і напругу з існуючим цоколем лампи. Після заміни перевірте калібрування камери; більш точна рівномірність може трохи зсунути встановлену точку. Очікуйте трохи довший період розігріву до теплової рівноваги під час першої заміни. Заплануйте короткий пробний прогін для повторного затвердження вікна процесу.