Припиніть нагрівати камеру для вакууму – почніть нагрівати саму пластину.
Якщо ви коли-небудь працювали на заводі з виробництва напівпровідників, то знаєте, з чим доводиться боротися. Потрібно довести температуру пластини до необхідного рівня, але водночас не можна допустити, щоб вся камера перетворилась на „печ“.
Стандартні інфрачервоні лампи створюють хаос: вони випромінюють тепло в усіх напрямках. У середовищі високого вакууму ця енергія не має куди йти, а тому потрапляє прямо на внутрішні стінки обладнання. У результаті корпус обладнання стає своєрідним радіатором, а оператори стикаються з серйозною небезпекою опіків.
Це справжній хаос. Але існує кращий спосіб.
Секрет полягає у правильному напрямку випромінювання.
Замість того, щоб дозволяти теплу розсіюватися всюди, ми використовуємо лампи з точковим випромінюванням. Це схоже на заміну звичайної лампочки на ліхтарик. Завдяки внутрішнім відбивачам та спеціальним покриттям теплова енергія потрапляє саме туди, куди потрібно, а не на корпус обладнання.
Це значно полегшує ситуацію: зовнішня частина обладнання залишається прохолодною, а системи охолодження не мусать працювати на повну потужність, щоб запобігти перегріву обладнання.
Але у середовищі високого вакууму є свої умови.
Не можна просто поставити туди звичайну лампу. Більшість матеріалів „випускають гази“, що означає, що вони виділяють шкідливі речовини, які можуть зіпсувати процес виробництва. Це справжній кошмар щодо контамінації.
Ми вирішуємо цю проблему, використовуючи кварц високої чистоти та герметичні елементи. Ці елементи розраховані на роботу при різниці тисків, без ризику руйнування вакууму. Вони просто ефективно виконують свою функцію.
Але є одна проблема.
Коли тепло концентрується в одній точці, щільність енергії значно зростає. Це дуже ефективно, але це означає, що потрібно точно визначити фокус випромінювання.
Якщо пластина знаходиться навіть трохи не в центрі, це може призвести до появи „гарячих точок“, які можуть пошкодити поверхню пластини. Це справжній виклик. Тож необхідно поєднувати ці лампи з точним контролером типу PID. Це необхідно для того, щоб точно досягти потрібної температури, не перевищуючи її.
Найкраще те, що ці лампи можна використовувати як заміну для уже наявних у вас пристроїв. Тепло буде надходити безпосередньо на поверхню пластини, а не на стінки камери. Не потрібно витрачати багато грошей на додаткові захисні елементи чи складні системи охолодження. Це простіший та ефективніший спосіб виконання завдання.