ویفر کی سطح پر، نرم بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کا مناسب پروفائل ہی فوٹوریزسٹ کے اہم ابعاد اور سائیڈ وال پروفائل کو مستحکم رکھتا ہے۔ آدھے ڈگری کی تبدیلی سے لائن کی چوڑائی میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے، جس کی وجہ سے ایٹچنگ کے عمل میں مشکلات پیدا ہوتی ہیں۔ ہم نے اپنے سیرامک انفراریڈ ہیٹر پینل کو اسی مقصد کے لئے تیار کیا ہے، تاکہ اس قسم کی تغیرات کو ختم کیا جا سکے۔
اس ہیٹر کا کور ایک اعلیٰ اخراجی صلاحیت والا سیرامک عنصر ہے، جو شارٹ-ویو انفراریڈ کے ساتھ استعمال ہوتا ہے؛ اس طرح تیز رفتار اور براہِ راست حرارتی تحفظ حاصل ہوتا ہے، اور حرارتی ماس کم رہتا ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے درمیان رہتی ہے، اور سیٹ پوائنٹ کی تکراریت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے، یہاں تک کہ 24/7 چلنے کی صورت میں بھی۔
یہ ہیٹر کلاس 1-100 کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔ سیلڈ سیرامک سطح اور کم گیس خارج کرنے والے مواد کی وجہ سے ذرات کی تعداد کنٹرول میں رہتی ہے، اور ریمپنگ اور سوکنگ کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ ردِعمل بہت تیز ہے – ملی سیکنڈ کے اندر ہی درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے؛ اس طرح نرم بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، بغیر کسی غلطی کے۔
چاہے یہ لیتھوگرافی کے عمل میں استعمال ہو یا الگ الگ بیکنگ اسٹیشنز میں، یہ حرارتی کنٹرول ہی فوٹوریزسٹ کے ابعاد کو مستحکم رکھنے، فوٹوریزسٹ میں خرابیوں کو کم کرنے، اور ایٹچنگ کے عمل کو قابو میں رکھنے میں مدد کرتا ہے۔ اس طرح تیز رفتار بیکنگ کے عمل میں بھی پروفائل کی سالمیت برقرار رہتی ہے، کم توانائی کی ضرورت ہوتی ہے، اور دیکھ بھال کی ضرورت بھی کم ہوتی ہے۔ ہر بار اور ہر لاٹ میں حرارتی ویوفارم تکراری رہتا ہے، اس طرح عمل کے لئے مطلوبہ حالات حاصل کئے جا سکتے ہیں۔
صرف عملی پابندیوں کو مدِنظر رکھنا ضروری ہے۔ ہیٹر کے لئے مناسب، کم حرارتی ماس والے فکسچرز اور صاف برقی سپلائی کی ضرورت ہے، تاکہ حرارتی چکر برقرار رہ سکے۔ انسٹالیشن کی حدود بہت سخت ہیں – 0.1 ملی میٹر کے اندر – اور گیس خارج کرنے کو کنٹرول کرنے کے لئے مناسب حرارتی انٹرفیس مواد کا استعمال ضروری ہے۔
اگر الائنمنٹ درست ہو، تو ہیٹر آسانی سے موجودہ ٹریکس اور بیکنگ ٹولز میں فٹ ہو جاتا ہے، اور لیتھوگرافی اور ایٹچنگ کے عملوں کے لئے درکار درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے میں مدد کرتا ہے۔