پیکیجنگ فیکٹریوں میں، دو چیزیں پیداوار کو نقصان پہنچاتی ہیں: صفائی کے بعد باقی رہنے والا نمی، اور وہ فوٹوریزسٹ جو مکمل طور پر خشک نہیں ہوتا۔ جب اسے گرمی کے سامنے رکھا جاتا ہے، تو قید شدہ پانی سے خرابیاں پیدا ہوتی ہیں۔ ناقص طریقے سے خشک ہونے والا فوٹوریزسٹ، ڈائسنگ کے دوران خراب ہو جاتا ہے، جس سے چھوٹے چھوٹے نشانات پیدا ہوتے ہیں، اور یہ نشانات بالآخر بیکار چیزوں میں تبدیل ہو جاتے ہیں۔ در حقیقت، ضرورت ایک ایسے حرارتی عمل کی ہے جو پانی کو خارج کرے، بغیر پتلی فلموں پر دباؤ ڈالے، اور فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے خشک کرے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟ ہم شارٹ-ویو نیئر-انفراریڈ (NIR) ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، جن کا ردِعمل چند سیکنڈوں میں ہوتا ہے؛ یہ توانائی براہِ راست پانی اور فوٹوریزسٹ فلم میں جاتی ہے۔ 300 ملی میٹر کے ویفروں پر، یہ سسٹم ±0.1°C کے اندر یکسانیت برقرار رکھتا ہے، اور ہزاروں چکروں کے بعد بھی یہی درستگی برقرار رہتی ہے۔ یہ ہارڈویئر کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق بنایا گیا ہے؛ یعنی یہ چھوٹے ذرات سے پاک ہے، کم گیس خارج کرتا ہے، اور معیاری طریقوں سے ہینڈلنگ کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ نرم بیکنگ، سخت بیکنگ، اور پیکیجنگ سے پہلے خشک کرنے کے عمل سے ذرات کی تعداد کم رہتی ہے۔
عملی طور پر یہ کیوں کام کرتا ہے؟ NIR، ویفروں کو چند سیکنڈوں میں خشک کر دیتا ہے، اس لیے چکر کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور ویفر کا درجہ حرارت بہت زیادہ نہیں بڑھتا۔ نرم بیکنگ سے ویفر کی سطح یکساں رہتی ہے، اور چپس کی مضبوطی بھی بہتر ہوتی ہے۔ سخت بیکنگ سے فوٹوریزسٹ مکمل طور پر خشک ہو جاتا ہے، جس سے چپس کی کوالٹی بہتر ہوتی ہے۔ اس طرح، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، پیداوار میں استحکام آتا ہے، اور ہر بیچ کے لیے درکار توانائی بھی کم ہو جاتی ہے۔ یہ یونٹs 24/7 کام کرتے ہیں، اور بغیر کسی تعطل کے، مسلسل پروڈکشن کو برقرار رکھتے ہیں۔
آپ کو کیا یاد رکھنے کی ضرورت ہے؟ NIR کے لیے دیکھنے کا راستہ ضروری ہے، اور ایمیٹر سے ویفر تک کا فاصلہ بھی مستقل اور یکساں ہونا چاہیے۔ درجہ حرارت کنٹرول کے لیے کیلیبریٹڈ پائرومیٹری اور ایمیشن ٹیبلز استعمال کیے جاتے ہیں۔ ہم عام فلموں کے لیے پہلے سے تیار کردہ طریقے فراہم کرتے ہیں، لیکن نئی فلموں کے لیے کچھ چکروں کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ درست درجہ حرارت معلوم کیا جا سکے۔ انسٹالیشن بہت آسان ہے؛ صرف صاف بجلی اور الگ گراؤنڈ کی ضرورت ہے تاکہ EMI کو کنٹرول کیا جا سکے۔
خلاصہ: یہ ایک ایسا حرارتی کنٹرول سسٹم ہے جو ویفروں کو خشک کرنے اور فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے خشک کرنے کے لیے بہترین ہے؛ یہ قابلِ تکرار، صاف، اور تیز ہے۔