Trên sàn sản xuất, năng suất chip lượng tử sống và chết phụ thuộc vào hồ sơ nhiệt độ. Sự trôi lệch vài phần mười độ trên wafer trong quá trình nướng photoresist là đủ để phá hỏng kiểm soát chồng chéo và CD—và đó là cách bạn làm hỏng các chất nền đắt tiền và lịch trình. Chúng tôi đã chế tạo máy gia nhiệt cho chip máy tính lượng tử để giữ cho mọi thứ ổn định.
Dưới đây là những con số quan trọng. Nó giữ độ đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên vùng hoạt động, và độ lặp lại điểm đặt tốt hơn ±0.05°C. Các bộ phát quartz-halogen cung cấp phản hồi nhanh và sạch cho quá trình nướng mềm và nướng cứng, và thân máy gia nhiệt tương thích với phòng sạch cho các môi trường Class 1–100. Việc tạo ra hạt bụi được kiểm soát với cấu trúc kín, phát thải thấp và lối đi không khí được lọc. Trong điều kiện hoạt động bình thường, chúng tôi thấy sự gia tăng số lượng hạt đơn số ở kích thước 0.1 μm. Kiểm soát độ dốc được điều chỉnh theo ngân sách nhiệt của photoresist, điều này giữ hiệu ứng bề mặt thấp và tránh việc giữ dung môi. Tại sao điều này quan trọng trong công việc chip lượng tử: các tiêu chuẩn chồng chéo trong lithography và dung sai gate CD rất chặt chẽ. Với máy gia nhiệt này, dấu hiệu nhiệt ổn định trên toàn bộ wafer, vì vậy quy trình photoresist của bạn hoạt động một cách có thể dự đoán—lô này sau lô khác. Bạn sẽ có ít lần làm lại hơn, phân phối CD và chồng chéo ổn định, và thời gian chu kỳ mà bạn có thể tin cậy. Hiệu suất thể hiện ở hai điểm. Thiết kế bộ phát hiệu quả và lớp cách nhiệt chặt chẽ, do đó mức năng lượng tiêu thụ giảm. Và vùng nóng mô-đun tiết kiệm thời gian bảo trì khi việc tiếp cận công cụ bị hạn chế. Một vài ghi chú thực tiễn. Máy gia nhiệt cần một nguồn cấp nước lọc riêng để giữ trong tiêu chuẩn phòng sạch và ngăn không cho cửa sổ phát thải tích tụ lớp màng mỏng. Sau khi thay đèn, hãy để nó ngâm nhiệt một thời gian ngắn trước khi xác minh lại độ đồng nhất. Tính tương thích là đơn giản trên các nền tảng tiêu chuẩn 150 mm và 200 mm. Đối với tích hợp 300 mm, hãy lên kế hoạch cho việc xem xét thiết bị cụ thể tại chỗ—các hạn chế về không gian buồng và lưu lượng khí cần được sắp xếp trước khi bạn ký duyệt.