Hãy ngừng chờ đợi lò nướng hoạt động đi: Tại sao công nghệ sưởi bằng tia hồng ngoại lại vượt trội hơn so với phương pháp sưởi bằng khí nóng trong quy trình gia công bán dẫn?
Tôi nhận thấy rằng ngày càng có nhiều xưởng gia công bán dẫn muốn từ bỏ phương pháp sưởi bằng khí nóng truyền thống. Vấn đề của phương pháp này là tốc độ sưởi rất chậm. Bạn phải mất rất nhiều thời gian để làm nóng từng phân khối không khí trong buồng gia công, trước khi chi tiết cần được xử lý có thể cảm nhận được sự thay đổi về nhiệt độ. Đó là một quá trình tốn thời gian. Bạn phải dành một nửa thời gian để chờ đợi nhiệt độ tăng lên.
Công nghệ sưởi bằng tia hồng ngoại thì khác. Thay vì làm nóng không khí, tia hồng ngoại trực tiếp truyền năng lượng vào vật liệu cần được xử lý. Điều này giống như việc chờ cho căn phòng ấm lên, so với việc bước ra ngoài ánh nắng mặt trời trực tiếp. Thời gian cần thiết để làm nóng vật liệu giảm từ vài phút xuống còn vài giây. Điều này rất quan trọng, vì nó giúp bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ, mà không cần phải mua thêm máy móc hay diện tích lưu trữ.
Nhưng bạn không thể đơn giản chỉ dùng dây dẫn thông thường. Khi phải đối mặt với mức nhiệt cao như vậy, các loại vật liệu cách điện như PVC hay silicon sẽ bị phá hủy ngay lập tức. Vì vậy, chúng ta phải sử dụng dây dẫn được phủ lớp Teflon. Loại dây dẫn này có khả năng chịu được nhiệt độ cao mà không bị hư hỏng, giúp chúng ta có thể đặt dây dẫn gần các bộ phát nhiệt hơn, từ đó giúp toàn bộ hệ thống hoạt động hiệu quả hơn.
Tôi phải thừa nhận rằng đây không phải là giải pháp “kỳ diệu”. Tia hồng ngoại chỉ có thể truyền nhiệt theo đường thẳng. Nếu các bộ phận cần xử lý có hình dạng kỳ lạ hoặc có những chỗ sâu, thì sẽ có những vùng không được làm nóng. Bạn cần phải chú ý đến vị trí đặt các bộ phát nhiệt và góc chiếu của chúng để đảm bảo mọi bộ phận đều được làm nóng đều.
Nếu bạn là kỹ sư, thì tốc độ và hiệu quả tiết kiệm năng lượng của công nghệ này thật khó có thể bỏ qua. Chỉ cần lưu ý một điều: hãy kiểm tra nguồn điện cung cấp. Các bộ phát nhiệt bằng tia hồng ngoại yêu cầu nguồn điện mạnh hơn nhiều so với các bộ phát nhiệt thông thường. Hãy đảm bảo nguồn điện ổn định và sử dụng dây dẫn được phủ lớp Teflon, như vậy bạn đã loại bỏ được điểm yếu lớn nhất trong hệ thống sưởi của mình rồi.