Trên sàn sản xuất, chỉ một lần tăng nhiệt đột ngột trong buồng RTP có thể làm mất ngay ngân sách nhiệt của bạn. Hồ sơ photoresist bắt đầu bị lệch. Kiểm soát chiều rộng đường mạch bị sai lệch. Năng suất bị ảnh hưởng. Chúng tôi thiết kế bộ đèn halogen thay thế cho RTP nhằm loại bỏ sự không chắc chắn này và cung cấp nhiệt độ lặp lại được, chu kỳ sau chu kỳ.
Dưới đây là cấu tạo bên trong. Đèn sử dụng các bóng halogen bước sóng ngắn bên trong một vỏ thạch anh, điều chỉnh để phản hồi bức xạ nhanh. Chúng tôi lập bản đồ đầu ra trên toàn bộ mảng vùng để phù hợp với hình dạng buồng, hướng tới độ đồng đều ở mức wafer ±0,1°C. Trong phòng sạch Class 1–100, thiết kế thấp phát thải khí giữ cho số lượng hạt không tăng vọt trong quá trình nướng và tôi. Lớp cách nhiệt sợi carbon giữ nhiệt bên trong, giảm công suất chờ, và rút ngắn thời gian tăng nhiệt. Đầu ra duy trì ổn định trên 5.000+ giờ, với độ trôi cường độ dưới 5%, giúp chỉ số Cpk của quy trình không bị ảnh hưởng.
Các bước soft bake và hard bake phụ thuộc chặt chẽ vào kiểm soát nhiệt độ — việc ghép lớp quang khắc dựa vào điều này. Bộ đèn thay thế này giữ nhiệt độ photoresist trong giới hạn quy định, mỗi lần, trên toàn bộ lô. Bạn sẽ thấy mức tiêu thụ năng lượng giảm khi quá trình làm nóng và làm nguội được rút ngắn, mà không đánh đổi độ chính xác nhiệt độ. Nó được thiết kế để vận hành liên tục 24/7, nghĩa là ít sự cố bất ngờ hơn và chi phí trên mỗi wafer xử lý giảm xuống.
Trước khi thay thế, hãy đối chiếu kích thước chân đế, hướng cực và điện áp với ổ cắm đèn hiện tại của bạn. Sau khi thay, kiểm tra hiệu chuẩn buồng; độ đồng đều chặt hơn có thể làm thay đổi điểm đặt nhiệt. Dự kiến thời gian làm nóng đến nhiệt cân bằng sẽ dài hơn một chút trong lần chuyển đổi đầu tiên. Lên kế hoạch chạy thử ngắn để khóa lại cửa sổ quy trình.