Trên sàn sản xuất, việc bỏ lỡ thời gian hẹn giờ trên lò sấy wafer không chỉ đơn thuần là dừng dây chuyền. Nó có thể làm thiếu quá trình nướng mềm photoresist, để lại lớp da trong quá trình sấy, và xuất hiện dưới dạng dung môi dư hoặc khuyết tật mẫu trong dữ liệu sản lượng. Chúng tôi đã xây dựng lò sấy wafer có hẹn giờ để giữ cho các bước nhiệt được khóa chặt và có thể lặp lại. Thời gian và nhiệt độ đều là những yếu tố không thể thương lượng trong in khắc và chuẩn bị wafer.
Cấu trúc bên trong là một chồng nhiệt phù hợp với công việc. Các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn cung cấp nhiệt trực tiếp nhanh chóng, với độ đồng nhất ở mức wafer là ±0.1°C trên toàn bộ lô. Các buồng thạch anh tích hợp và hệ thống lọc tuần hoàn đạt tiêu chuẩn HEPA giữ cho sự phát sinh hạt ở mức không, vì vậy bạn có thể vận hành trong phòng sạch Class 1–100 mà không lo lắng. Hẹn giờ không chỉ là một sự tiện lợi. Nó là một liên kết quy trình buộc thời gian chính xác cho nướng mềm và sấy sau làm sạch, bảo toàn ngân sách nhiệt và ngăn chặn sự trôi dạt giữa các chu kỳ.
Đây là những gì mà điều đó mang lại trong thực tế: các hồ sơ nướng photoresist đạt mục tiêu trong vài giây, với tính lặp lại giúp kiểm soát CD ổn định và giảm thiểu các lô làm lại. Các chu trình sấy hoàn thành với độ giữ ẩm thấp hơn, vì vậy bạn có thể di chuyển wafer nhanh hơn mà không làm hỏng bề mặt. Mức tiêu thụ năng lượng giảm vì lò đạt điểm đặt nhanh chóng và giữ ổn định mà không vượt quá, và thời gian hoạt động vẫn ổn định với thiết kế phù hợp cho hoạt động 24/7 và làm mát nhanh giữa các lô.
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng hãy lên kế hoạch cho các tiện ích của bạn. Lò cần một mạch điện chuyên dụng và không khí nén sạch, khô cho các đường dẫn thải và xả khí. Việc kết nối hẹn giờ với bộ điều khiển chủ rất đơn giản. Tuy nhiên, trong quá trình xác nhận, hãy xác thực thời gian công thức so với đường cong nướng của nhà cung cấp photomask của bạn. Một số công thức nhạy cảm hơn với độ dốc tăng tốc hơn là chỉ thời gian ngâm.