停止在真空环境中加热工件吧 如果你曾经尝试过在真空环境中加热晶圆或基材，那你一定知道这有多困难。要让目标物体变热的同时又不让真空室的壁面被烧坏，实在是一件很棘手的事情。 普通的红外线灯其实就像加强版的灯泡——它们会向各个方向散发热量。在密闭的真空环境中，大量热量会反射到内壁上去。这不仅浪费了能源，...

停止给真空室加热吧——转而加热晶圆吧！ 如果你曾在半导体制造厂工作过，就知道其中有多麻烦。你需要让晶圆达到所需的温度，但同时又不想让整个真空室变成一个“烤箱”。 普通的红外灯会向各个方向散发热量。在真空环境中，这些热量无处可去，只能直接传递到设备的内壁。这样一来，设备的外壳就变成了巨大的散热体，操...