Jak zabránit výbuchům u lamp určených k zahušťování polovodičových destiček
Buďme upřímní: umístění vysokoenergetických IR lamp do komory plné těkavých chemikálií je opravdu znepokojivé. Potřebujeme teplo k dokončení práce, ale v podstatě umisťujeme šroubku do místnosti plné hořlavých par. Běžná lampa rozhodně není vhodnou volbou – spíše představuje riziko.
Proto navrhujeme naše reflektory a lampy tak, aby fungovaly jako „pevnost“, která odděluje zdroj tepla od prostředí kolem něj.
Uzavření, které opravdu drží
S uzavřením nešetříme. Používáme hermetické procesy, které vše pevně uzavřou. Žádné páry neproniknou do pouzdra a žádné jiskry nevyjdou ven.
Reflektor nejen odráží světlo – je to vaše hlavní obranná linie. Používáme vysoce čisté křemenné sklo a těsněny, které dokážou odolat agresivním čisticím prostředkům bez toho, aby se roztavily nebo pokřivily. Víte ty levné těsněny, které prasknou hned, jak se změní teplota? My jsme se toho již zbavili.
Umístění tepla tam, kam patří
Cílem je zahřát samotnou polovodičovou destičku, ne celou komoru. K tomu používáme zlato pokryté nebo hliník s vysokou odrazivostí. Tyto materiály soustředí krátkovlnné IR záření do úzkého paprsku zaměřeného přímo na cíl. Protože paprsek je užší, stěny komory zůstávají chladnější a destička dostává mnohem intenzivnější zásah tepla. To znamená, že cykly zahušťování probíhají rychleji. Jednoduché, že?
Kompromisy (to, čemu většina lidí zapomíná)
Vysokointenzivní lampy se na svých konecích strašně zahřívají. Protože náš systém je velmi hermeticky uzavřený, toto teplo zůstává uvnitř. Pokud používáte zařízení s vysokým výkonem, nemůžete to jen tak nechat být. Musíte se ujistit, že váš chladicí ventilátor nebo kapalinový systém je dostatečně silný na zvládnutí této zátěže. Pokud se vzduch nepohybuje kolem pouzdra, interní součásti dosáhnou svého limitu a dojde k výpadku napájení. Je to otrava, ale je to lepší než nefunkční systém.
Pokud vaše napájecí zdroj odpovídá potřebnému napětí, tyto jednotky by měly snadno zapadnout do vašich stávajících linek určených k zahušťování polovodičových destiček.