http://patio-ir-master.com/cs/tags/processing/ Recent content in Processing on Patio Infrared Heating Masters Hugo cs Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/cs/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/cs/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Optický ohřívač pro zpracování waferů"></p> <p>Na lithografické hale prochází 300mm wafer postupně z fáze nanášení vrstvy do fáze pečení v souladu s taktováním linky. Soft bake při 90 °C, hard bake při 110 °C. Fotorezist musí mít stejnou odezvu šarži po šarži. Jakýkoliv posun v teplotním profilu se okamžitě projeví: posun kritické dimenze (CD), špatná adheze, defekty mostu – následně opravy. Topné těleso není jen další prvek v pozadí. Je to ovládací prvek termálního rozpočtu fotorezistu.</p> <p>Optické topné moduly pro zpracování waferů jsou navrženy pro tuto přesnou kontrolu. Zajišťují rychlé, nízkokontaktní nebo bezkontaktní ohřevy s vysokou uniformitou a opakovatelností, takže fáze pečení nezpůsobuje variabilitu procesu.</p>