V provozu na výrobě nečeká laserové řezání na nic. Pokud začne topné těleso přestávat fungovat správně, teplotní rozložení na waferu se naruší –...

Na lince o délce 300 mm nezpůsobí odchylka teploty o 2 °C během procesu zahřívání fotorezistu žádné problémy. Projeví se to pouze jako odchylky šířky...