Hören Sie auf, wegen defekter Lampen Ihre Wafer zu verlieren!
Wenn Sie mit der Herstellung von Wafern in hoher Geschwindigkeit arbeiten, kennen Sie sicherlich dieses Albtraumszenario: Eine Lampe geht kaputt. Das klingt doch einfach, oder?
Doch wenn die Quarztube tatsächlich zerbricht, sind Sie in Schwierigkeiten. Glasstücke und Halogengas fliegen überall hin, was dazu führt, dass Ihre Wafer kontaminiert werden und die gesamte Charge innerhalb von Sekunden zerstört wird. Das ist eine echte Katastrophe.
Wir haben die IR-Lampen für unsere Reinräume speziell so konstruiert, damit das nicht passiert.
Der „Sicherheitsnetz“ für Ihren Quarzt
Wir verwenden hochreinen geschmolzenen Quarz – mit einer Wandstärke, die den thermischen Belastungen standhält. Doch damit haben wir noch nicht aufgehört.
Wir umhüllen die Tuben außerdem mit einem hitzebeständigen, chemisch inerten Überzug. Stellen Sie sich das wie einen Schutzkokon vor. Wenn die Filamentdrähte kaputtgehen und die Tube zerbricht, fängt der Überzug die Bruchstücke auf. So bleiben Ihre Wafer unversehrt. Das ist ein Trade-off, den Sie jedes Mal eingehen müssen.
Das Problem mit der Hitze
Wenn man leistungsstarke Lampen in begrenztem Raum unterbringt, entsteht eine enorme Hitzeentwicklung. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Wenn man die Spannung zu hoch einstellt, um schnellere Temperaturen zu erreichen, beschädigt man im Grunde den Filamentdraht. Dadurch entstehen Hotspots – und genau das führt zu frühzeitiger Zerstörung der Lampen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung genau auf die Nennspannung der Lampe abgestimmt ist. Ihr Equipment wird es Ihnen danken.
Halten Sie alles fest
Wir verwenden standardisierte Anschlüsse – schließlich sind lockere Verbindungen gefährlich. Wenn eine Verbindung locker ist, entstehen Funken. Dadurch können die Anschlüsse geschmolzen werden und die Enden der Tuben können abbrechen.
Ein weiterer Tipp: Warten Sie nicht darauf, bis die Lampe kaputtgeht. Legen Sie ein festes Ersatzprogramm fest, basierend auf Ihren Betriebszeiten. Es ist viel einfacher, die Lampe nach eigenen Regeln auszutauschen, als anschließend einen Schaden während des Produktionsprozesses zu beseitigen.
Eine kleine Einschränkung…
Da der Schutzüberzug dort ist, wird ein kleiner Teil der Infrarotstrahlung blockiert. Sie könnten daher eine leichte Abnahme der Temperatur feststellen.
Um das zu beheben, erhöhen Sie einfach die Leistung um 5–10 % oder geben Sie Ihren Wafer etwas mehr Zeit zur Erwärmung. Es handelt sich dabei um eine kleine Anpassung – aber sie lohnt sich, damit Sie sicher sein können, dass Ihr Reinraum tatsächlich steril bleibt.