Keramische Endkappe für IR Emitter

Wed, 15 Jul 2026 13:43:14 +0800

Hören Sie dem „Glasregen“ ein Ende: Umgang mit Ausfällen der IR-Lampen
Jeder, der bereits mit Halbleiterwafern gearbeitet hat, kennt dieses Problem. Man führt einen Prozess unter hohem Druck durch – und plötzlich geht eine IR-Lampe kaputt.

Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario: Wenn eine Quarztube defekt wird, fallen Glassplitter sowie Halogensauerstoff direkt auf die Wafer. Das ist ein totales Chaos.

Deshalb verwenden wir keramische Endkappen.

Wie sie funktionieren
Quarz dehnt sich beim Erhitzen aus und zieht sich wieder zusammen. Wenn hohe Leistungen bereitgestellt werden, wird der Punkt, an dem der Elektrode die Tube berührt, stark belastet. Genau dort bricht die Tube meistens.

Linearer Infrarot Heizstrahler

Mon, 01 Jun 2026 17:45:03 +0800

Auf der Fertigungsebene sind thermische Abweichungen nicht nur Ineffizienzen – sie reduzieren die Ausbeute. Ein Softbake, das auch nur um ein Grad abweicht, führt zu Schwankungen in der Photoresistdicke, und ein unvollständig getrockneter Hardbake hinterlässt Wasser, das die Musterintegrität beeinträchtigt. Lineare Infrarot-Heizstrahler minimieren dieses Risiko, indem sie kontrollierbare Energie direkt auf das Zielmaterial abgeben.

Technisch relevant Wir spezifizieren lineare IR-Strahler anhand reproduzierbarer Wellenlängensteuerung und enger thermischer Gleichmäßigkeit, mit einer Stabilität von ±0,1°C über die beheizte Zone. Die Reaktionszeit ist kurz, sodass die Temperatur für Softbake, Hardbake und Aushärtung schnell einpendelt, ohne das thermische Budget zu überschreiten. Reinraumkompatibilität ist integriert: Materialien mit geringer Partikelemission, dichte Gehäuse und Abluftführung, die Umgebungen der Klasse 1–100 innerhalb der Spezifikationen hält. Das System läuft 24/7 mit vorhersehbaren Wartungsintervallen, sodass keine unerwarteten Stillstandszeiten bei Litho- und Track-Integration auftreten.

Emitter on Patio Infrared Heating Masters

Keramische Endkappe für IR Emitter

Linearer Infrarot Heizstrahler