Austausch der RTP Halogenlampe

Wed, 03 Jun 2026 01:23:11 +0800

Auf der Fertigungsebene kann eine thermische Abweichung in der RTP-Kammer das thermische Budget in Sekundenschnelle aufbrauchen. Die Profile des Photoresists beginnen zu driftieren. Die Linienbreitenkontrolle gerät außer Kontrolle. Der Ertrag leidet darunter. Wir haben unseren RTP-Halogenlampenersatz entwickelt, um diese Unsicherheit aus der Gleichung zu eliminieren und wiederholbare Wärmeleistung, Zyklus für Zyklus, zu liefern.

So sieht die Technik dahinter aus. Die Lampe verwendet kurzwellige Halogenstrahler in einem Quarzgehäuse, abgestimmt auf eine schnelle, strahlungsbasierte Reaktion. Wir vermessen die Ausgangsleistung über das Zonennetzwerk, um die Kammergeometrie abzubilden, mit dem Ziel einer Wafer-Uniformität von ±0,1°C. Im Reinraum der Klasse 1–100 verhindert das designbedingte geringe Ausgasen einen Partikelanstieg während Back- und Anneal-Prozessen. Die Isolierung aus Carbonfaser hält die Wärme im System, reduziert die Standby-Leistung und verkürzt die Anstiegszeiten. Die Leistung bleibt über mehr als 5.000 Stunden stabil, mit weniger als 5 % Intensitätsdrift, sodass der Prozess-Cpk nicht beeinträchtigt wird.

Halogen on Patio Infrared Heating Masters

Austausch der RTP Halogenlampe