Keramische Endkappe für IR Emitter

Wed, 15 Jul 2026 13:43:14 +0800

Hören Sie dem „Glasregen“ ein Ende: Umgang mit Ausfällen der IR-Lampen
Jeder, der bereits mit Halbleiterwafern gearbeitet hat, kennt dieses Problem. Man führt einen Prozess unter hohem Druck durch – und plötzlich geht eine IR-Lampe kaputt.

Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario: Wenn eine Quarztube defekt wird, fallen Glassplitter sowie Halogensauerstoff direkt auf die Wafer. Das ist ein totales Chaos.

Deshalb verwenden wir keramische Endkappen.

Wie sie funktionieren
Quarz dehnt sich beim Erhitzen aus und zieht sich wieder zusammen. Wenn hohe Leistungen bereitgestellt werden, wird der Punkt, an dem der Elektrode die Tube berührt, stark belastet. Genau dort bricht die Tube meistens.

Keramisches Infrarotheizpanel

Sun, 28 Jun 2026 01:25:31 +0800

Auf der Wafer-Oberfläche sorgt das sanfte Erhitzungsprofil dafür, dass die kritischen Abmessungen des Fotoleitmittels sowie das Profil der Seitenwände genau gehalten werden. Eine Abweichung von einem halben Grad führt zu einer Verschiebung der Linienbreite – diese Verschiebung wirkt sich direkt auf den Etch-Prozess aus. Wir haben unser keramisches Infrarotheizsystem so konzipiert, dass diese Unsicherheiten ausgeglichen werden.

Der Kern des Heizsystems besteht aus einem hochemittierenden keramischen Element in Kombination mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Dadurch wird eine schnelle, direkte Erwärmung erreicht – bei minimalem Wärmemassenverbrauch. Auf der gesamten Fläche des Chucks bleibt die Homogenität der Temperatur bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit des Setpoints liegt bei ±0,2 °C – auch bei 24/7-Betrieb.

Keramik on Patio Infrared Heating Masters

Keramische Endkappe für IR Emitter

Keramisches Infrarotheizpanel