http://patio-ir-master.com/de/tags/panel/ Recent content in Panel on Patio Infrared Heating Masters Hugo de Sun, 28 Jun 2026 01:25:31 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ Sun, 28 Jun 2026 01:25:31 +0800 http://patio-ir-master.com/de/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Keramisches Infrarotheizpanel"></p> <p>Auf der Wafer-Oberfläche sorgt das sanfte Erhitzungsprofil dafür, dass die kritischen Abmessungen des Fotoleitmittels sowie das Profil der Seitenwände genau gehalten werden. Eine Abweichung von einem halben Grad führt zu einer Verschiebung der Linienbreite – diese Verschiebung wirkt sich direkt auf den Etch-Prozess aus. Wir haben unser keramisches Infrarotheizsystem so konzipiert, dass diese Unsicherheiten ausgeglichen werden.</p> <p>Der Kern des Heizsystems besteht aus einem hochemittierenden keramischen Element in Kombination mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Dadurch wird eine schnelle, direkte Erwärmung erreicht – bei minimalem Wärmemassenverbrauch. Auf der gesamten Fläche des Chucks bleibt die Homogenität der Temperatur bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit des Setpoints liegt bei ±0,2 °C – auch bei 24/7-Betrieb.</p>